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精密平台直度與角度即時量測光學系統之開發 = Development ...

張益新

精密平台直度與角度即時量測光學系統之開發 = Development of a real-time optical measuring system for the straightness and angular error of precision stage

Record Type:	Language materials, printed : monographic
Paralel Title:	Development of a real-time optical measuring system for the straightness and angular error of precision stage
Author:	黃俊堯,
Secondary Intellectual Responsibility:	張益新,
Secondary Intellectual Responsibility:	劉建宏,
Place of Publication:	雲林縣
Published:	國立虎尾科技大學;
Year of Publication:	民98[2009]
Edition:	初版
Description:	73面圖 : 30公分;
Subject:	四象限檢測器
Subject:	壓電致動器
Subject:	直度誤差
Subject:	角度誤差
Subject:	angular error
Subject:	piezoelectric actuator
Subject:	quadrant detector
Subject:	straightness error
Online resource:	http://cetd.lib.nfu.edu.tw/etdservice/view_metadata?etdun=U0028-3007200917290700

精密平台直度與角度即時量測光學系統之開發 = Development of a real-time optical measuring system for the straightness and angular error of precision stage
黃, 俊堯

精密平台直度與角度即時量測光學系統之開發 = Development of a real-time optical measuring system for the straightness and angular error of precision stage / 黃俊堯撰 - 初版. - 雲林縣 : 國立虎尾科技大學, 民98[2009]. - 73面 ; 圖 ; 30公分.
含參考書目.
四象限檢測器壓電致動器直度誤差角度誤差angular errorpiezoelectric actuatorquadrant detectorstraightness error

張, 益新

精密平台直度與角度即時量測光學系統之開發 = Development of a real-time optical measuring system for the straightness and angular error of precision stage
LDR:01260nam a2200313 a 4500 001 609079
010 0 $b 平裝
100 $a 20090731y2009 y0chiy50 e
101 0 $a chi $d chi $d eng
102 $a tw
200 1 $a 精密平台直度與角度即時量測光學系統之開發 $d Development of a real-time optical measuring system for the straightness and angular error of precision stage $f 黃俊堯撰
205 $a 初版
210 $a 雲林縣 $d 民98[2009] $c 國立虎尾科技大學
215 0 $a 73面 $c 圖 $d 30公分
314 $a 指導教授 : 張益新
320 $a 含參考書目
328 $a 碩士論文--國立虎尾科技大學光電與材料科技研究所
510 1 $a Development of a real-time optical measuring system for the straightness and angular error of precision stage
610 0 $a 四象限檢測器
610 0 $a 壓電致動器
610 0 $a 直度誤差
610 0 $a 角度誤差
610 1 $a angular error
610 1 $a piezoelectric actuator
610 1 $a quadrant detector
610 1 $a straightness error
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702 1 $a 劉 $b 建宏 $3 438785
770 1 $a Jing-Yao Huang $3 633765
772 0 $a Yee-Shin Chang $3 541118
772 0 $a Chien-Hung Liu $3 538362
801 0 $a tw $b 國立虎尾科技大學圖書館 $c 20091012
801 1 $a tw $b 國立虎尾科技大學圖書館 $c 20091022
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