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多層堆疊有機矽基/氮氧化矽氣體阻障層改善水氣滲透及薄膜覆蓋性之研究 = ...

呂紹楷

多層堆疊有機矽基/氮氧化矽氣體阻障層改善水氣滲透及薄膜覆蓋性之研究 = = A Study on Organosilicon / Silicon Oxynitride Multilayered Barrier Structures to Improve Water Vapor Permeability and Step Coverage /

Record Type:	Language materials, printed : Monograph/item
Title/Author:	多層堆疊有機矽基/氮氧化矽氣體阻障層改善水氣滲透及薄膜覆蓋性之研究 = / 呂紹楷撰.
Reminder of title:	A Study on Organosilicon / Silicon Oxynitride Multilayered Barrier Structures to Improve Water Vapor Permeability and Step Coverage /
remainder title:	A Study on Organosilicon / Silicon Oxynitride Multilayered Barrier Structures to Improve Water Vapor Permeability and Step Coverage.
Author:	呂紹楷
Published:	雲林縣 : 國立虎尾科技大學 , : 民104.07.,
Description:	[11], 76面 : 圖, 表 ; : 30公分.;
Notes:	指導教授：劉代山.
Subject:	氮氧化矽. -
Online resource:	http://cetd.lib.nfu.edu.tw/etdservice/view_metadata?etdun=U0028-3107201517041400

多層堆疊有機矽基/氮氧化矽氣體阻障層改善水氣滲透及薄膜覆蓋性之研究 = = A Study on Organosilicon / Silicon Oxynitride Multilayered Barrier Structures to Improve Water Vapor Permeability and Step Coverage /
呂紹楷

多層堆疊有機矽基/氮氧化矽氣體阻障層改善水氣滲透及薄膜覆蓋性之研究 = A Study on Organosilicon / Silicon Oxynitride Multilayered Barrier Structures to Improve Water Vapor Permeability and Step Coverage / A Study on Organosilicon / Silicon Oxynitride Multilayered Barrier Structures to Improve Water Vapor Permeability and Step Coverage.呂紹楷撰. - 初版. - 雲林縣 : 國立虎尾科技大學 , 民104.07. - [11], 76面 : 圖, 表 ; 30公分.

指導教授：劉代山.

含參考書目.Subjects--Topical Terms:

998643
氮氧化矽.

多層堆疊有機矽基/氮氧化矽氣體阻障層改善水氣滲透及薄膜覆蓋性之研究 = = A Study on Organosilicon / Silicon Oxynitride Multilayered Barrier Structures to Improve Water Vapor Permeability and Step Coverage /
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