語系
劉健民
概要
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書目資訊
銦錫氧化物作為銅製程中擴散阻礙層之研究 = Study of Nanocrystalline Indium Tin Oxide as Diffusion Barrier for Copper Metallization
by:
楊立中; Li-Chung Yang; Wen-Jauh Chen; 陳文照; 劉健民
(書目-語言資料,印刷品)