語系
吳偉立
概要
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書目資訊
超薄碳化鉭擴散阻礙層在銅製程應用之研究 = Study of an ultra-thin TaC diffusion barrier in the application of copper metallization
by:
楊立中; Li-Chung Yang; 吳偉立
(書目-語言資料,印刷品)