語系
莊大緯
概要
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書目資訊
變壓耦合式電漿蝕刻技術於奈米圖案化藍寶石基板之應用 = Fabrication and Characteristics of Nano-Pattern on Sapphire Substrate by Transformer Coupled Plasma Etching Technology
by:
Fuh- Shyang Juang; Ta-Wei Chuang; 莊大緯; 莊賦祥
(書目-語言資料,印刷品)