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Franz, Gerhard.

概要

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書目資訊

Low pressure plasmas and microstructuring technology by: Franz, Gerhard.; SpringerLink (Online service) (書目-語言資料,印刷品)

主題

Atomic and Molecular Structure and Spectra. Electronics and Microelectronics, Instrumentation. Material Science. Optical and Electronic Materials. Plasma engineering. Plasma etching. Plasma (Ionized gases) Surfaces and Interfaces, Thin Films.

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