國立虎尾科技大學 |

Language: English

Back to Search results for [ subject:"電漿表面處理." ]

六氟化硫電漿表面處理氧化釔薄膜之特性及耐蝕刻行為研究 = = Chara...

王崧宇

六氟化硫電漿表面處理氧化釔薄膜之特性及耐蝕刻行為研究 = = Characterization and Etching Resistance of Yttrium Oxide Film after Sulfur Fluoried Plasma Surface Treatment /

Record Type:	Language materials, printed : Monograph/item
Title/Author:	六氟化硫電漿表面處理氧化釔薄膜之特性及耐蝕刻行為研究 =/ 王崧宇.
Reminder of title:	Characterization and Etching Resistance of Yttrium Oxide Film after Sulfur Fluoried Plasma Surface Treatment /
remainder title:	Characterization and Etching Resistance of Yttrium Oxide Film after Sulfur Fluoried Plasma Surface Treatment.
Author:	王崧宇
Published:	雲林縣 :國立虎尾科技大學 , : 民110.02.,
Description:	[9], 79面 :圖, 表 ; : 30公分.;
Notes:	指導教授: 蔡丕椿, 王偉凱.
Subject:	Yttrium oxyfluoride. -
Online resource:	電子資源

六氟化硫電漿表面處理氧化釔薄膜之特性及耐蝕刻行為研究 = = Characterization and Etching Resistance of Yttrium Oxide Film after Sulfur Fluoried Plasma Surface Treatment /
王崧宇

六氟化硫電漿表面處理氧化釔薄膜之特性及耐蝕刻行為研究 =Characterization and Etching Resistance of Yttrium Oxide Film after Sulfur Fluoried Plasma Surface Treatment /Characterization and Etching Resistance of Yttrium Oxide Film after Sulfur Fluoried Plasma Surface Treatment.王崧宇. - 初版. - 雲林縣 :國立虎尾科技大學 ,民110.02. - [9], 79面 :圖, 表 ;30公分.

指導教授: 蔡丕椿, 王偉凱.

碩士論文--國立虎尾科技大學材料科學與工程系材料科學與綠色能源工程碩士班.

含參考書目.

(平裝).Subjects--Topical Terms:

1328719
Yttrium oxyfluoride.

六氟化硫電漿表面處理氧化釔薄膜之特性及耐蝕刻行為研究 = = Characterization and Etching Resistance of Yttrium Oxide Film after Sulfur Fluoried Plasma Surface Treatment /
LDR:01029cam a2200217 i 4500 001 1031431
008 210324s2021 ch ak erm 000 0 chi d
035 $a (THES)109NYPI0159004
040 $a NFU $b chi $c NFU $e CCR
041 0 # $a chi $b chi $b eng
084 $a 008.152M $b 1023:2 110 $2 ncsclt
100 1 $a 王崧宇 $3 1328544
245 1 0 $a 六氟化硫電漿表面處理氧化釔薄膜之特性及耐蝕刻行為研究 = $b Characterization and Etching Resistance of Yttrium Oxide Film after Sulfur Fluoried Plasma Surface Treatment / $c 王崧宇.
246 1 1 $a Characterization and Etching Resistance of Yttrium Oxide Film after Sulfur Fluoried Plasma Surface Treatment.
250 $a 初版.
260 # $a 雲林縣 : $b 國立虎尾科技大學 , $c 民110.02.
300 $a [9], 79面 : $b 圖, 表 ; $c 30公分.
500 $a 指導教授: 蔡丕椿, 王偉凱.
500 $a 學年度: 109.
502 $a 碩士論文--國立虎尾科技大學材料科學與工程系材料科學與綠色能源工程碩士班.
504 $a 含參考書目.
563 $a (平裝).
650 # 4 $a Yttrium oxyfluoride. $3 1328719
650 # 4 $a Plasma surface treatment. $3 1328718
650 # 4 $a RF magnetron sputtering. $3 996078
650 # 4 $a Yttrium oxide. $3 1328717
650 # 4 $a 氟氧化釔. $3 1328716
650 # 4 $a 電漿表面處理. $3 1328715
650 # 4 $a 射頻磁控濺鍍. $3 1016581
650 # 4 $a 氧化釔. $3 1151127
856 7 # $u https://handle.ncl.edu.tw/11296/nrhfj3 $z 電子資源 $2 http