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用於惡劣環境的碳化硅微機電系統

Record Type:	Language materials, printed : monographic
Author:	奇永
Secondary Intellectual Responsibility:	王文弢,
Secondary Intellectual Responsibility:	唐飛,
Secondary Intellectual Responsibility:	王曉浩,
Place of Publication:	北京市
Published:	科學;
Year of Publication:	2010.03
Edition:	第一版
Description:	6,121面圖,表格 : 24公分;
Series:	微納技術著作叢書
Subject:	電子裝置 -
ISBN:	9787030268624

用於惡劣環境的碳化硅微機電系統
奇永

用於惡劣環境的碳化硅微機電系統 / Rebecca Cheung著 ; 王曉浩, 唐飛, 王文弢譯 - 第一版. - 北京市 : 科學, 2010.03. - 6,121面 ; 圖,表格 ; 24公分. - (微納技術著作叢書).
含參考書目.
ISBN 9787030268624
電子裝置

王, 文弢

用於惡劣環境的碳化硅微機電系統
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320 $a 附錄:3C-SiC, 6H-SiC和Si的材料性能對比
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448.65 4030 99

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