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    EUV sources for lithography
    Society of Photo-optical Instrumentation Engineers.
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    EUV lithography
    Bakshi, Vivek.
    • EUV lithography
    • by: Bakshi, Vivek.; Society of Photo-optical Instrumentation Engineers.
    • 書目-語言資料,印刷品 : Monograph/item
    • 出版者: SPIE,
    • 出版地: Bellingham, Wash. (1000 20th St. Bellingham WA 98225-6705 USA) :
    • 出版年: 2009
    • ISBN: 9780819480705; 0470471557; 9780819469649; 9780470471555
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