語系
吳佳泰
概要
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書目資訊
奈米級掃描平臺之雷射干涉儀定位回授控制 = Positioning control of the nano scanning stage by the feedback of the laser interferometer
by:
沈金鐘; Chia-Tai Wu; 吳佳泰; Jing-Chung Shen
(書目-語言資料,印刷品)