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奈米級掃描平臺之雷射干涉儀定位回授控制 = Positioning co...

沈金鐘

奈米級掃描平臺之雷射干涉儀定位回授控制 = Positioning control of the nano scanning stage by the feedback of the laser interferometer

紀錄類型:	書目-語言資料,印刷品 : 單行本
並列題名:	Positioning control of the nano scanning stage by the feedback of the laser interferometer
作者:	吳佳泰,
其他作者:	沈金鐘,
出版地:	雲林縣
出版者:	國立虎尾科技大學;
出版年:	民98[2009]
版本:	初版
面頁冊數:	98面圖 : 30公分;
標題:	奈米級掃描平台
標題:	線性馬達
標題:	雷射干涉儀量測系統
標題:	順滑模態控制
標題:	Laser interferometer measurement system
標題:	Linear motor
標題:	Nano scanning stage
標題:	Sliding-mode control
電子資源:	http://cetd.lib.nfu.edu.tw/etdservice/view_metadata?etdun=U0028-2707200911392600

奈米級掃描平臺之雷射干涉儀定位回授控制 = Positioning control of the nano scanning stage by the feedback of the laser interferometer
吳, 佳泰

奈米級掃描平臺之雷射干涉儀定位回授控制 = Positioning control of the nano scanning stage by the feedback of the laser interferometer / 吳佳泰撰 - 初版. - 雲林縣 : 國立虎尾科技大學, 民98[2009]. - 98面 ; 圖 ; 30公分.
含參考書目.
奈米級掃描平台線性馬達雷射干涉儀量測系統順滑模態控制Laser interferometer measurement systemLinear motorNano scanning stageSliding-mode control

沈, 金鐘

奈米級掃描平臺之雷射干涉儀定位回授控制 = Positioning control of the nano scanning stage by the feedback of the laser interferometer
LDR:01255nam0 2200313 450 001 609077
010 0 $b 平裝
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102 $a tw
200 1 $a 奈米級掃描平臺之雷射干涉儀定位回授控制 $d Positioning control of the nano scanning stage by the feedback of the laser interferometer $f 吳佳泰撰
205 $a 初版
210 $a 雲林縣 $d 民98[2009] $c 國立虎尾科技大學
215 0 $a 98面 $c 圖 $d 30公分
314 $a 指導教授 : 沈金鐘
320 $a 含參考書目
328 $a 碩士論文--國立虎尾科技大學機械與機電工程研究所
510 1 $a Positioning control of the nano scanning stage by the feedback of the laser interferometer
610 0 $a 奈米級掃描平台
610 0 $a 線性馬達
610 0 $a 雷射干涉儀量測系統
610 0 $a 順滑模態控制
610 1 $a Laser interferometer measurement system
610 1 $a Linear motor
610 1 $a Nano scanning stage
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801 0 $a tw $b 國立虎尾科技大學圖書館 $c 20091012
801 1 $a tw $b 國立虎尾科技大學圖書館 $c 20091015
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