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主題
林彥佑
概要
作品:
2 作品在 1 項出版品 1 種語言
書目資訊
使用雷射化學氣相法以W(CO)6沉積鎢金屬薄膜之特性研究 = The Study of W Thin Film Grown Using Laser Chemical Vapor Deposition
by: Yen -Yu Lin; 張益新; Yee-ShinChang; 林彥佑
(書目-語言資料,印刷品)
主題
LCVD
Tungsten
W(CO)6
六羰鎢
鎢
雷射化學氣相沈積
處理中
...
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