語系
蘇武加
概要
| 作品: | 2 作品在 1 項出版品 1 種語言 | |
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書目資訊
Ta-Si-C 非晶質擴散阻障應用於 銅製程之特性研究 = Characteristics of amorphous Ta-Si-C film as a diffusion barrier for copper metallization
by:
Jau-Shiung Fang; 方昭訓; Wu-Jia Su; 蘇武加
(書目-語言資料,印刷品)