國立虎尾科技大學 |

Language: English

Back

Ta-Si-C 非晶質擴散阻障應用於銅製程之特性研究 = Charac...

Jau-Shiung Fang

Ta-Si-C 非晶質擴散阻障應用於銅製程之特性研究 = Characteristics of amorphous Ta-Si-C film as a diffusion barrier for copper metallization

Record Type:	Language materials, printed : monographic
Paralel Title:	Characteristics of amorphous Ta-Si-C film as a diffusion barrier for copper metallization
Author:	蘇武加,
Secondary Intellectual Responsibility:	方昭訓,
Place of Publication:	雲林縣
Published:	國立虎尾科技大學;
Year of Publication:	民99[2010]
Edition:	初版
Description:	125面圖 : 30公分;
Subject:	Ta-Si-C 薄膜
Subject:	電漿表面改質
Subject:	Ta-Si-C(O)x
Subject:	熱穩定性
Subject:	Ta-Si-C
Subject:	plasma surface treatment
Subject:	thermal stability
Subject:	Ta-Si-C(O)x
Online resource:	http://cetd.lib.nfu.edu.tw/etdservice/view_metadata?etdun=U0028-2008201016381700

Ta-Si-C 非晶質擴散阻障應用於銅製程之特性研究 = Characteristics of amorphous Ta-Si-C film as a diffusion barrier for copper metallization
蘇, 武加

Ta-Si-C 非晶質擴散阻障應用於銅製程之特性研究 = Characteristics of amorphous Ta-Si-C film as a diffusion barrier for copper metallization / 蘇武加撰 - 初版. - 雲林縣 : 國立虎尾科技大學, 民99[2010]. - 125面 ; 圖 ; 30公分.
含參考書目.
Ta-Si-C 薄膜電漿表面改質Ta-Si-C(O)x熱穩定性Ta-Si-Cplasma surface treatmentthermal stabilityTa-Si-C(O)x

方, 昭訓

Ta-Si-C 非晶質擴散阻障應用於銅製程之特性研究 = Characteristics of amorphous Ta-Si-C film as a diffusion barrier for copper metallization
LDR:01246nam0 2200325 450 001 649075
005 20101120101522.0
010 0 $b 平裝
100 $a 20101001d m y0chib
101 0 $a chi $d chi $d eng
102 $a tw
200 1 $a Ta-Si-C 非晶質擴散阻障應用於銅製程之特性研究 $d Characteristics of amorphous Ta-Si-C film as a diffusion barrier for copper metallization $f 蘇武加撰
205 $a 初版
210 $a 雲林縣 $d 民99[2010] $c 國立虎尾科技大學
215 0 $a 125面 $c 圖 $d 30公分
314 $a 指導教授 : 方昭訓
320 $a 含參考書目
328 $a 碩士論文--國立虎尾科技大學材料科學與綠色能源工程研究所
510 1 $a Characteristics of amorphous Ta-Si-C film as a diffusion barrier for copper metallization
610 # 0 $a Ta-Si-C 薄膜
610 # 0 $a 電漿表面改質
610 # 0 $a Ta-Si-C(O)x
610 # 0 $a 熱穩定性
610 # 1 $a Ta-Si-C
610 # 1 $a plasma surface treatment
610 # 1 $a thermal stability
610 # 1 $a Ta-Si-C(O)x
681 $a 008.152M $b 4414
700 1 $a 蘇 $b 武加 $3 718947
702 1 $a 方 $b 昭訓 $3 487549
770 1 $a Wu-Jia Su $3 718065
772 0 $a Jau-Shiung Fang $3 538184
801 0 $a tw $b 國立虎尾科技大學圖書館 $c 20100914
801 1 $a tw $b 國立虎尾科技大學圖書館 $c 20101112
856 4 # $u http://cetd.lib.nfu.edu.tw/etdservice/view_metadata?etdun=U0028-2008201016381700