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六氟化硫電漿表面處理氧化釔薄膜之特性及耐蝕刻行為研究 = = Chara...
~
王崧宇
六氟化硫電漿表面處理氧化釔薄膜之特性及耐蝕刻行為研究 = = Characterization and Etching Resistance of Yttrium Oxide Film after Sulfur Fluoried Plasma Surface Treatment /
紀錄類型:
書目-語言資料,印刷品 : Monograph/item
正題名/作者:
六氟化硫電漿表面處理氧化釔薄膜之特性及耐蝕刻行為研究 =/ 王崧宇.
其他題名:
Characterization and Etching Resistance of Yttrium Oxide Film after Sulfur Fluoried Plasma Surface Treatment /
其他題名:
Characterization and Etching Resistance of Yttrium Oxide Film after Sulfur Fluoried Plasma Surface Treatment.
作者:
王崧宇
出版者:
雲林縣 :國立虎尾科技大學 , : 民110.02.,
面頁冊數:
[9], 79面 :圖, 表 ; : 30公分.;
附註:
指導教授: 蔡丕椿, 王偉凱.
標題:
氧化釔. -
電子資源:
電子資源
六氟化硫電漿表面處理氧化釔薄膜之特性及耐蝕刻行為研究 = = Characterization and Etching Resistance of Yttrium Oxide Film after Sulfur Fluoried Plasma Surface Treatment /
王崧宇
六氟化硫電漿表面處理氧化釔薄膜之特性及耐蝕刻行為研究 =
Characterization and Etching Resistance of Yttrium Oxide Film after Sulfur Fluoried Plasma Surface Treatment /Characterization and Etching Resistance of Yttrium Oxide Film after Sulfur Fluoried Plasma Surface Treatment.王崧宇. - 初版. - 雲林縣 :國立虎尾科技大學 ,民110.02. - [9], 79面 :圖, 表 ;30公分.
指導教授: 蔡丕椿, 王偉凱.
碩士論文--國立虎尾科技大學材料科學與工程系材料科學與綠色能源工程碩士班.
含參考書目.
(平裝).Subjects--Topical Terms:
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氧化釔.
六氟化硫電漿表面處理氧化釔薄膜之特性及耐蝕刻行為研究 = = Characterization and Etching Resistance of Yttrium Oxide Film after Sulfur Fluoried Plasma Surface Treatment /
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圖書館B1F 博碩士論文專區
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T011312
圖書館B1F 博碩士論文專區
不流通(NON_CIR)
碩士論文(TM)
TM 008.152M 1023:2 110
一般使用(Normal)
在架
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T011313
圖書館B1F 可外借論文區
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2 筆 • 頁數 1 •
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