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氧化鋅薄膜沉積於矽基板上以應用於表面聲波壓力感測器 = = Deposi...

黃靖雲

氧化鋅薄膜沉積於矽基板上以應用於表面聲波壓力感測器 = = Deposition of ZnO thin films on Silicon substrate for SAW pressure sensor application /

紀錄類型:	書目-語言資料,印刷品 : Monograph/item
正題名/作者:	氧化鋅薄膜沉積於矽基板上以應用於表面聲波壓力感測器 =/ 黃靖雲.
其他題名:	Deposition of ZnO thin films on Silicon substrate for SAW pressure sensor application /
其他題名:	Deposition of ZnO thin films on Silicon substrate for SAW pressure sensor application.
作者:	黃靖雲
出版者:	雲林縣 :國立虎尾科技大學 , : 民110.01.,
面頁冊數:	[10], 81面 :圖, 表 ; : 30公分.;
附註:	指導教授: 水瑞鐏.
標題:	矽基板. -
電子資源:	電子資源

氧化鋅薄膜沉積於矽基板上以應用於表面聲波壓力感測器 = = Deposition of ZnO thin films on Silicon substrate for SAW pressure sensor application /
黃靖雲

氧化鋅薄膜沉積於矽基板上以應用於表面聲波壓力感測器 =Deposition of ZnO thin films on Silicon substrate for SAW pressure sensor application /Deposition of ZnO thin films on Silicon substrate for SAW pressure sensor application.黃靖雲. - 初版. - 雲林縣 :國立虎尾科技大學 ,民110.01. - [10], 81面 :圖, 表 ;30公分.

指導教授: 水瑞鐏.

碩士論文--國立虎尾科技大學電子工程系碩士班.

含參考書目.

(平裝).Subjects--Topical Terms:

1215462
矽基板.

氧化鋅薄膜沉積於矽基板上以應用於表面聲波壓力感測器 = = Deposition of ZnO thin films on Silicon substrate for SAW pressure sensor application /
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500 $a 指導教授: 水瑞鐏.
500 $a 學年度: 109.
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