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Fundamentals of microfabrication
~
Madou, Marc J
Fundamentals of microfabrication
紀錄類型:
書目-語言資料,印刷品 : 單行本
作者:
MadouMarc J,
出版地:
Boca Raton, Fla
出版者:
CRC Press;
出版年:
c1997
面頁冊數:
589 p., [22] p. of platesill. (some col.) : 29 cm;
標題:
Microelectronics - Design and construction -
標題:
Machining -
標題:
Microelectronic packaging -
標題:
Lasers - Industrial applications -
ISBN:
0849394511
Fundamentals of microfabrication
Madou, Marc J
Fundamentals of microfabrication
/ Marc Madou - Boca Raton, Fla : CRC Press, c1997. - 589 p., [22] p. of plates ; ill. (some col.) ; 29 cm.
Includes bibliographical references (p. 565-569) and index.
ISBN 0849394511
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Fundamentals of microfabrication
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CCR
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621.38152 M183 1997 c.2
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