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Mechanical microsensors

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Wiegerink, Remco J (1964)

Mechanical microsensors

紀錄類型:	書目-語言資料,印刷品 : 單行本
作者:	ElwenspoekM,
其他作者:	WiegerinkRemco J, 1964
出版地:	Berlin
出版者:	Springer;
出版年:	c2001
面頁冊數:	x, 295 pill : 23 cm;
標題:	Micromachining -
標題:	Silicon -
標題:	Transducers -
標題:	Microelectromechanical systems - Design and construction -
標題:	Detectors - Design and construction -
ISBN:	9624301557

Mechanical microsensors
Elwenspoek, M

Mechanical microsensors / M. Elwenspoek, R.J. Wiergerink - Berlin : Springer, c2001. - x, 295 p ; ill ; 23 cm.
Includes bibliographical references (p. [274]-290) and index.
ISBN 9624301557ISBN 3540675825
MicromachiningSiliconTransducersMicroelectromechanical systemsDetectors -- Design and construction -- Design and construction

Wiegerink, Remco J

Mechanical microsensors
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681.2 E52 2001 c.2

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AR 681.2 E52 2001

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