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Handbook of VLSI microlithography : ...
~
Helbert, John N
Handbook of VLSI microlithography : principles, technology, and applications
紀錄類型:
書目-語言資料,印刷品 : 單行本
副題名:
principles, technology, and applications
其他作者:
HelbertJohn N,
出版地:
Park Ridge, NJ
出版者:
Noyes Publications;
出版年:
c2001
版本:
2nd ed
面頁冊數:
xxi, 1001 pill : 24 cm;
標題:
Integrated circuits - Very large scale integration -
標題:
Microlithography -
ISBN:
0815514441
Handbook of VLSI microlithography : principles, technology, and applications
Handbook of VLSI microlithography
: principles, technology, and applications / edited by John N. Helbert - 2nd ed. - Park Ridge, NJ : Noyes Publications, c2001. - xxi, 1001 p ; ill ; 24 cm.
Includes bibliographical references and index.
ISBN 0815514441
Integrated circuitsMicrolithography -- Very large scale integration
Helbert, John N
Handbook of VLSI microlithography : principles, technology, and applications
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一般圖書
621.3815 H236 2001
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