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半導體微影技術 = Lithographic technologies ...

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龍文安

半導體微影技術 = Lithographic technologies for semiconductors

Record Type:	Language materials, printed : monographic
Paralel Title:	Lithographic technologies for semiconductors
Author:	龍文安,
Place of Publication:	臺北市
Published:	五南;
Year of Publication:	民93[2004]
Edition:	初版
Description:	[10],974面圖,表格 : 27公分;
Series:	半導體系列叢書
Subject:	縮影 -
ISBN:	957113726X

半導體微影技術 = Lithographic technologies for semiconductors
龍, 文安

半導體微影技術 = Lithographic technologies for semiconductors / 龍文安著 - 初版. - 臺北市 : 五南, 民93[2004]. - [10],974面 ; 圖,表格 ; 27公分. - (半導體系列叢書).
含參考書目及索引.
ISBN 957113726X
縮影

半導體微影技術 = Lithographic technologies for semiconductors
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320 $a 附錄:電子伏特(eV)能量之換算等6種
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