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電子束曝光微納加工技術

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王理明

電子束曝光微納加工技術

Record Type:	Language materials, printed : monographic
Author:	王理明,
Secondary Intellectual Responsibility:	顧文琪,
Place of Publication:	北京市
Published:	北京工業大學;
Year of Publication:	民93[2004]
Edition:	第一版
Description:	310面圖 : 26公分;
Series:	電子束、離子束、光子束微納加工技術系列專著
Subject:	半導體及其他電子裝置 -
Notes:	大陸出版品
ISBN:	7563913009

電子束曝光微納加工技術
王, 理明

電子束曝光微納加工技術 / 顧文琪主編 ; 王理明等著 - 第一版. - 北京市 : 北京工業大學, 民93[2004]. - 310面 ; 圖 ; 26公分. - (電子束、離子束、光子束微納加工技術系列專著).
大陸出版品.
ISBN 7563913009
半導體及其他電子裝置

顧, 文琪

電子束曝光微納加工技術
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