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Principles of plasma discharges and ...
~
Lieberman, M. A
Principles of plasma discharges and materials processing
紀錄類型:
書目-語言資料,印刷品 : 單行本
作者:
LiebermanM. A,
其他作者:
LichtenbergAllan J,
出版地:
Hoboken, N.J
出版者:
Wiley-Interscience;
出版年:
c2005
版本:
2nd ed
面頁冊數:
xxxv, 757 pill : 25 cm;
標題:
Plasma dynamics -
標題:
Thin films - Surfaces -
標題:
Plasma etching -
標題:
Plasma chemistry - Industrial applications -
ISBN:
0471720011
Principles of plasma discharges and materials processing
Lieberman, M. A
Principles of plasma discharges and materials processing
/ Michael A. Lieberman, Allan J. Lichtenberg - 2nd ed. - Hoboken, N.J : Wiley-Interscience, c2005. - xxxv, 757 p ; ill ; 25 cm.
Includes bibliographical references (p. 735-748) and index.
ISBN 0471720011
Plasma dynamicsThin filmsPlasma etchingPlasma chemistry -- Surfaces -- Industrial applications
Lichtenberg, Allan J
Principles of plasma discharges and materials processing
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一般圖書(BOOK)
一般圖書
530.44 L716 2005
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