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五自由度微動平台之建構與奈米級雙軸循軌量測系統之研發 = The Dev...

Wen-Yuh Jywe

五自由度微動平台之建構與奈米級雙軸循軌量測系統之研發 = The Developments of Flexure Hinge Based Stack-Type 5 DOF Nanometer-Scale Stage for a Heavy-Loading Machining Process and a New Nano

紀錄類型:	書目-語言資料,印刷品 : 單行本
並列題名:	The Developments of Flexure Hinge Based Stack-Type 5 DOF Nanometer-Scale Stage for a Heavy-Loading Machining Process and a New Nano
作者:	鄧雲峰,
其他作者:	覺文郁,
出版地:	雲林縣
出版者:	國立虎尾科技大學; 國立虎尾科技大學;
出版年:	2004,民93
版本:	初版
面頁冊數:	107 面圖 : 30公分;
集叢名:	動力機械工程研究所
標題:	壓電致動器
標題:	微動平台
標題:	雷射干涉儀
標題:	電容式探頭
標題:	PZT
標題:	capacitive position sensors
標題:	flexible Hinges
標題:	interferometer
電子資源:	http://140.130.12.251/ETD-db/ETD-search-c/view_etd?URN=etd-0202105-143510
附註:	全文電子檔使用校內校外均不公開

五自由度微動平台之建構與奈米級雙軸循軌量測系統之研發 = The Developments of Flexure Hinge Based Stack-Type 5 DOF Nanometer-Scale Stage for a Heavy-Loading Machining Process and a New Nano
鄧, 雲峰

五自由度微動平台之建構與奈米級雙軸循軌量測系統之研發 = The Developments of Flexure Hinge Based Stack-Type 5 DOF Nanometer-Scale Stage for a Heavy-Loading Machining Process and a New Nano / 鄧雲峰 ; 覺文郁指導 - 初版. - 雲林縣 : 國立虎尾科技大學, 2004,民93. - 107 面 ; 圖 ; 30公分. - (動力機械工程研究所).
全文電子檔使用校內校外均不公開畢業學年度:92指導教授:覺文郁.
壓電致動器微動平台雷射干涉儀電容式探頭PZTcapacitive position sensorsflexible Hingesinterferometer

覺, 文郁

五自由度微動平台之建構與奈米級雙軸循軌量測系統之研發 = The Developments of Flexure Hinge Based Stack-Type 5 DOF Nanometer-Scale Stage for a Heavy-Loading Machining Process and a New Nano
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