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三自由度奈米平台設計、量測與循跡控制 = Design、Measure ...

覺文郁

三自由度奈米平台設計、量測與循跡控制 = Design、Measure and Tracking Control of Three-Degree-of-Freedom Nanometer Stage

Record Type:	Language materials, printed : monographic
Paralel Title:	Design、Measure and Tracking Control of Three-Degree-of-Freedom Nanometer Stage
Author:	劉俊昌,
Secondary Intellectual Responsibility:	覺文郁,
Place of Publication:	雲林縣
Published:	國立虎尾科技大學; 國立虎尾科技大學;
Year of Publication:	2005,民94
Edition:	初版
Description:	108 面圖 : 30公分;
Series:	機械與機電工程研究所
Subject:	多軸微動平台
Subject:	干涉量
Subject:	控制解析度
Subject:	機電整合
Subject:	Nanometer-Sctage
Subject:	control resolution
Subject:	interference
Notes:	畢業學年度:93

三自由度奈米平台設計、量測與循跡控制 = Design、Measure and Tracking Control of Three-Degree-of-Freedom Nanometer Stage
劉, 俊昌

三自由度奈米平台設計、量測與循跡控制 = Design、Measure and Tracking Control of Three-Degree-of-Freedom Nanometer Stage / 劉俊昌 ; 覺文郁指導 - 初版. - 雲林縣 : 國立虎尾科技大學, 2005,民94. - 108 面 ; 圖 ; 30公分. - (機械與機電工程研究所).
畢業學年度:93指導教授:覺文郁.
多軸微動平台干涉量控制解析度機電整合Nanometer-Sctagecontrol resolutioninterference

覺, 文郁

三自由度奈米平台設計、量測與循跡控制 = Design、Measure and Tracking Control of Three-Degree-of-Freedom Nanometer Stage
LDR:01286cam0 2200325 450 001 497968
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105 $a a z 000zy
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205 $a 初版
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215 0 $a 108 面 $c 圖 $d 30公分
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300 $a 畢業學年度:93
300 $a 指導教授:覺文郁 $u Thesis advisor:Wen-Yuh Jywe
328 $a 碩士論文--國立虎尾科技大學機械與機電工程研究所
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