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三自由度奈米平台設計、量測與循跡控制 = Design、Measure ...

覺文郁

三自由度奈米平台設計、量測與循跡控制 = Design、Measure and Tracking Control of Three-Degree-of-Freedom Nanometer Stage

紀錄類型:	書目-語言資料,印刷品 : 單行本
並列題名:	Design、Measure and Tracking Control of Three-Degree-of-Freedom Nanometer Stage
作者:	劉俊昌,
其他作者:	覺文郁,
出版地:	雲林縣
出版者:	國立虎尾科技大學; 國立虎尾科技大學;
出版年:	2005,民94
版本:	初版
面頁冊數:	108 面圖 : 30公分;
集叢名:	機械與機電工程研究所
標題:	多軸微動平台
標題:	干涉量
標題:	控制解析度
標題:	機電整合
標題:	Nanometer-Sctage
標題:	control resolution
標題:	interference
附註:	畢業學年度:93

三自由度奈米平台設計、量測與循跡控制 = Design、Measure and Tracking Control of Three-Degree-of-Freedom Nanometer Stage
劉, 俊昌

三自由度奈米平台設計、量測與循跡控制 = Design、Measure and Tracking Control of Three-Degree-of-Freedom Nanometer Stage / 劉俊昌 ; 覺文郁指導 - 初版. - 雲林縣 : 國立虎尾科技大學, 2005,民94. - 108 面 ; 圖 ; 30公分. - (機械與機電工程研究所).
畢業學年度:93指導教授:覺文郁.
多軸微動平台干涉量控制解析度機電整合Nanometer-Sctagecontrol resolutioninterference

覺, 文郁

三自由度奈米平台設計、量測與循跡控制 = Design、Measure and Tracking Control of Three-Degree-of-Freedom Nanometer Stage
LDR:01286cam0 2200325 450 001 497968
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205 $a 初版
210 $a 雲林縣 $c 國立虎尾科技大學 $d 2005,民94 $c 國立虎尾科技大學
215 0 $a 108 面 $c 圖 $d 30公分
225 2 $a 機械與機電工程研究所 $i 碩士論文
300 $a 畢業學年度:93
300 $a 指導教授:覺文郁 $u Thesis advisor:Wen-Yuh Jywe
328 $a 碩士論文--國立虎尾科技大學機械與機電工程研究所
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801 0 $a cw $b 國立虎尾科技大學圖書館 $c 20070501 $g CCR