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次微米級光學直度尺應用於精密掃描平台即時直度誤差補償之研究 = The ...

鄧聖耀

次微米級光學直度尺應用於精密掃描平台即時直度誤差補償之研究 = The Study On Real-Time Straightness Error Compensation For A Linear Stage Using A Submicron Optical Straightness Measuring System

Record Type:	Language materials, printed : monographic
Paralel Title:	The Study On Real-Time Straightness Error Compensation For A Linear Stage Using A Submicron Optical Straightness Measuring System
Author:	鄧聖耀,
Secondary Intellectual Responsibility:	劉建宏,
Place of Publication:	雲林縣
Published:	國立虎尾科技大學; 國立虎尾科技大學;
Year of Publication:	2006,民95
Edition:	初版
Description:	69 面圖 : 30公分;
Series:	光電與材料科技科技所
Subject:	四象限檢測器
Subject:	直度誤差
Subject:	補償
Subject:	角隅反射鏡
Subject:	Compensator
Subject:	Corner
Subject:	Quarter detector
Subject:	Straightness error
Online resource:	http://140.130.12.251/ETD-db/ETD-search-c/view_etd?URN=etd-0731106-120919
Notes:	全文電子檔使用校內校外均不公開

次微米級光學直度尺應用於精密掃描平台即時直度誤差補償之研究 = The Study On Real-Time Straightness Error Compensation For A Linear Stage Using A Submicron Optical Straightness Measuring System
鄧, 聖耀

次微米級光學直度尺應用於精密掃描平台即時直度誤差補償之研究 = The Study On Real-Time Straightness Error Compensation For A Linear Stage Using A Submicron Optical Straightness Measuring System / 鄧聖耀 ; 劉建宏指導 - 初版. - 雲林縣 : 國立虎尾科技大學, 2006,民95. - 69 面 ; 圖 ; 30公分. - (光電與材料科技科技所).
全文電子檔使用校內校外均不公開畢業學年度:94指導教授:劉建宏.
四象限檢測器直度誤差補償角隅反射鏡CompensatorCornerQuarter detectorStraightness error

劉, 建宏

次微米級光學直度尺應用於精密掃描平台即時直度誤差補償之研究 = The Study On Real-Time Straightness Error Compensation For A Linear Stage Using A Submicron Optical Straightness Measuring System
LDR:01550cam0 2200361 450 001 498287
010 0 $b (平裝) $d 新臺幣元
100 $a 20070502d2006 m y0chib09 e
101 0 $a chi
102 $a cw
105 $a a z 000zy
200 1 $a 次微米級光學直度尺應用於精密掃描平台即時直度誤差補償之研究 $d The Study On Real-Time Straightness Error Compensation For A Linear Stage Using A Submicron Optical Straightness Measuring System $f 鄧聖耀 $g 劉建宏指導
205 $a 初版
210 $a 雲林縣 $c 國立虎尾科技大學 $d 2006,民95 $c 國立虎尾科技大學
215 0 $a 69 面 $c 圖 $d 30公分
225 2 $a 光電與材料科技科技所 $i 碩士論文
300 $a 全文電子檔使用校內校外均不公開
300 $a 畢業學年度:94
300 $a 指導教授:劉建宏 $u Thesis advisor:Chien-hung Liu
328 $a 碩士論文--國立虎尾科技大學光電與材料科技研究所
410 0 $1 2001 $a 光電與材料科技科技所 $i 碩士論文
510 1 $a The Study On Real-Time Straightness Error Compensation For A Linear Stage Using A Submic $z eng
610 0 $a 四象限檢測器
610 0 $a 直度誤差
610 0 $a 補償
610 0 $a 角隅反射鏡
610 1 $a Compensator
610 1 $a Corner
610 1 $a Quarter detector
610 1 $a Straightness error
681 $a 008.166 $b 1719
681 $a 008.166M $b 1719
700 $a 鄧 $b 聖耀 $3 490666
702 $a 劉 $b 建宏 $4 譯 $3 438785
772 $a Chien-Hung Liu $3 538362
801 0 $a cw $b 國立虎尾科技大學圖書館 $c 20070502 $g CCR
856 2 $u http://140.130.12.251/ETD-db/ETD-search-c/view_etd?URN=etd-0731106-120919