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以微機電系統技術製作繞射光柵模仁與柵輔式波導模仁 = A Fabrica...

莊為群

以微機電系統技術製作繞射光柵模仁與柵輔式波導模仁 = A Fabrication of Diffraction and Reflection Grating Mold and their Application in Grating Assisted Coupler Mold Fabrication

Record Type:	Language materials, printed : monographic
Paralel Title:	A Fabrication of Diffraction and Reflection Grating Mold and their Application in Grating Assisted Coupler Mold Fabrication
Author:	陳嘉倫,
Secondary Intellectual Responsibility:	莊為群,
Place of Publication:	雲林縣
Published:	國立虎尾科技大學; 國立虎尾科技大學;
Year of Publication:	2005,民94
Edition:	初版
Description:	111 面圖 : 30公分;
Series:	光電與材料科技研究所
Subject:	全像干涉微影
Subject:	微光刻電鑄模造技術
Subject:	微機電系統技術
Subject:	柵輔式波導
Subject:	繞射光柵模仁
Subject:	軟式印刷技術
Subject:	Diffraction Grating mold insert
Subject:	Grating Assisted Coupler Waveguide
Subject:	Holographic Interference Lithography
Subject:	LIGA
Subject:	MEMS
Subject:	Micro-Electro-Mechanical System
Subject:	soft lithography
Online resource:	http://140.130.12.251/ETD-db/ETD-search-c/view_etd?URN=etd-0719105-215746
Notes:	全文電子檔使用校內校外均不公開

以微機電系統技術製作繞射光柵模仁與柵輔式波導模仁 = A Fabrication of Diffraction and Reflection Grating Mold and their Application in Grating Assisted Coupler Mold Fabrication
陳, 嘉倫

以微機電系統技術製作繞射光柵模仁與柵輔式波導模仁 = A Fabrication of Diffraction and Reflection Grating Mold and their Application in Grating Assisted Coupler Mold Fabrication / 陳嘉倫 ; 莊為群指導 - 初版. - 雲林縣 : 國立虎尾科技大學, 2005,民94. - 111 面 ; 圖 ; 30公分. - (光電與材料科技研究所).
全文電子檔使用校內校外均不公開畢業學年度:93指導教授:莊為群.
全像干涉微影微光刻電鑄模造技術微機電系統技術柵輔式波導繞射光柵模仁軟式印刷技術Diffraction Grating mold insertGrating Assisted Coupler WaveguideHolographic Interference LithographyLIGAMEMSMicro-Electro-Mechanical Systemsoft lithography

莊, 為群

以微機電系統技術製作繞射光柵模仁與柵輔式波導模仁 = A Fabrication of Diffraction and Reflection Grating Mold and their Application in Grating Assisted Coupler Mold Fabrication
LDR:01786cam0 2200421 450 001 498984
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300 $a 指導教授:莊為群 $u Thesis advisor:Wei-Ching Chuang
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