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電子束蒸鍍製程參數對ITO透明導電膜之光電特性研究 = Fabricat...
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國立虎尾科技大學
電子束蒸鍍製程參數對ITO透明導電膜之光電特性研究 = Fabrication and characterization of Indium Tin Oxide transparent conductive films by Electron-Beam Evaporation.
紀錄類型:
書目-語言資料,印刷品 : 單行本
並列題名:
Fabrication and characterization of Indium Tin Oxide transparent conductive films by Electron-Beam Evaporation.
作者:
黃孟書,
其他團體作者:
國立虎尾科技大學
出版地:
[雲林縣]
出版者:
撰者; 撰者;
出版年:
民96[2007]
面頁冊數:
63面圖,表 : 30公分;
標題:
ITO
標題:
加速電壓
電子資源:
http://140.130.12.251/ETD-db/ETD-search-c/view_etd?URN=etd-0129107-174948
摘要註:
中文摘要氧化銦錫(Indium Tin Oxide, ITO)最目前廣泛使用的透明導電材料。由於其導電性佳、在可見光區域的穿透率高、在紫外光區具有高吸收等特性。同時在化學上的性質穩定性佳,隨著光電產業的快速成長,被相當廣泛的應用著。本論文探討以電子束蒸發法將ITO鍍於玻璃試片上沉積透明導電膜。在製程中分別調整及控制氧流量、製程基板溫度、膜層厚度以求較佳參數,同時調整改變電子束的加速電壓,來探討各種參數變化對ITO透明導電膜之電性及光性的影響。本論文對各參數對薄膜品質之影響做一系統性之探討。本論文之研究,在適當的參數控制下,在波長470nm的穿透率均在95
電子束蒸鍍製程參數對ITO透明導電膜之光電特性研究 = Fabrication and characterization of Indium Tin Oxide transparent conductive films by Electron-Beam Evaporation.
黃, 孟書
電子束蒸鍍製程參數對ITO透明導電膜之光電特性研究
= Fabrication and characterization of Indium Tin Oxide transparent conductive films by Electron-Beam Evaporation. / 黃孟書撰 - [雲林縣] : 撰者, 民96[2007]. - 63面 ; 圖,表 ; 30公分.
參考書目:面.
ITO加速電壓
電子束蒸鍍製程參數對ITO透明導電膜之光電特性研究 = Fabrication and characterization of Indium Tin Oxide transparent conductive films by Electron-Beam Evaporation.
LDR
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電子束蒸鍍製程參數對ITO透明導電膜之光電特性研究
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Fabrication and characterization of Indium Tin Oxide transparent conductive films by Electron-Beam Evaporation.
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黃孟書撰
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30公分
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指導教授:武東星、莊賦祥
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參考書目:面
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碩士論文--國立虎尾科技大學光電與材料科技研究所
330
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中文摘要氧化銦錫(Indium Tin Oxide, ITO)最目前廣泛使用的透明導電材料。由於其導電性佳、在可見光區域的穿透率高、在紫外光區具有高吸收等特性。同時在化學上的性質穩定性佳,隨著光電產業的快速成長,被相當廣泛的應用著。本論文探討以電子束蒸發法將ITO鍍於玻璃試片上沉積透明導電膜。在製程中分別調整及控制氧流量、製程基板溫度、膜層厚度以求較佳參數,同時調整改變電子束的加速電壓,來探討各種參數變化對ITO透明導電膜之電性及光性的影響。本論文對各參數對薄膜品質之影響做一系統性之探討。本論文之研究,在適當的參數控制下,在波長470nm的穿透率均在95
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Fabrication and characterization of Indium Tin Oxide transparent conductive films by Electron-Beam Evaporation.
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ITO
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氧化銦錫
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氧化銦錫
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電子束蒸鍍法
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黃
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孟書
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國立虎尾科技大學
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工業工程與管理究所
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虎尾科技大學
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