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以電容嵌入法應用於三自由度Z-tilts微動平台之控制 = Tracki...

陳財源

以電容嵌入法應用於三自由度Z-tilts微動平台之控制 = Tracking control of the three degrees of freedom Z-tilts micropositioning stage using the capacitor insertion method

紀錄類型:	書目-語言資料,印刷品 : 單行本
並列題名:	Tracking control of the three degrees of freedom Z-tilts micropositioning stage using the capacitor insertion method
作者:	陳財源,
其他作者:	劉建宏,
其他作者:	覺文郁,
其他團體作者:	國立虎尾科技大學
出版地:	雲林縣
出版者:	國立虎尾科技大學;
出版年:	民96[2007]
版本:	初版
面頁冊數:	146面圖,表 : 30公分;
標題:	Hysteresis
標題:	三軸同動
電子資源:	http://140.130.12.251/ETD-db/ETD-search-c/view_etd?URN=etd-0724107-133438
摘要註:	本論文開發一個三自由度微動平台與三自由度雷射量測系統，並進行系統整合測試與控制。平台主要組成以壓電致動器與撓性變形機構所組成。由於壓電致動器本身會有遲滯現象的產生，本論文使用電容嵌入法改善遲滯現象的方法再加上PI控制器，可將壓電致動器的遲滯現象減小。並利用開發的三自由度之量測系統，進行三自由度的定位與循跡控制。定位控制於Z軸方向在1000nm之位移下，可控制在+/-10nm內，在3arcsec角位移之結果可控制在+/-0.1arcsec。在20Hz三軸同動之控制結果，Z軸誤差在+/-60nm，角度誤差在+/-1.5arcsec內。 In this paper, a 3-DOF ( Z-tilts) nanometer positioning stage was developed using a three-axes PZT actuators, three integrated flexure hinge and three degrees of freedom laser measuring system with 10 nm positioning resolution and 0.1 arcsec resolution in pitch and roll motion. A capacitor insertion method was used to eliminate the Hysteresis of the PZT actuators and the PI controller was used in this paper. The results of linear positioning and angular motion can achieve the errors within +/-10nm and +/-0.1arcsec. The tracking control results of three-degrees-of -freedom motion in 20 Hz were less than +/- 60nm and +/-1.5arcsec.

以電容嵌入法應用於三自由度Z-tilts微動平台之控制 = Tracking control of the three degrees of freedom Z-tilts micropositioning stage using the capacitor insertion method
陳, 財源

以電容嵌入法應用於三自由度Z-tilts微動平台之控制 = Tracking control of the three degrees of freedom Z-tilts micropositioning stage using the capacitor insertion method / 陳財源撰 - 初版. - 雲林縣 : 國立虎尾科技大學, 民96[2007]. - 146面 ; 圖,表 ; 30公分.
Hysteresis三軸同動

劉, 建宏

以電容嵌入法應用於三自由度Z-tilts微動平台之控制 = Tracking control of the three degrees of freedom Z-tilts micropositioning stage using the capacitor insertion method
LDR:02449nam0 2200241 450 001 540309
010 0 $b 平裝
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200 1 $a 以電容嵌入法應用於三自由度Z-tilts微動平台之控制 $d Tracking control of the three degrees of freedom Z-tilts micropositioning stage using the capacitor insertion method $f 陳財源撰
205 $a 初版
210 $a 雲林縣 $d 民96[2007] $c 國立虎尾科技大學
215 0 $a 146面 $c 圖,表 $d 30公分
314 $a 指導教授：劉建宏
328 $a 碩士論文--國立虎尾科技大學光電與材料科技研究所
330 $a 本論文開發一個三自由度微動平台與三自由度雷射量測系統，並進行系統整合測試與控制。平台主要組成以壓電致動器與撓性變形機構所組成。由於壓電致動器本身會有遲滯現象的產生，本論文使用電容嵌入法改善遲滯現象的方法再加上PI控制器，可將壓電致動器的遲滯現象減小。並利用開發的三自由度之量測系統，進行三自由度的定位與循跡控制。定位控制於Z軸方向在1000nm之位移下，可控制在+/-10nm內，在3arcsec角位移之結果可控制在+/-0.1arcsec。在20Hz三軸同動之控制結果，Z軸誤差在+/-60nm，角度誤差在+/-1.5arcsec內。 In this paper, a 3-DOF ( Z-tilts) nanometer positioning stage was developed using a three-axes PZT actuators, three integrated flexure hinge and three degrees of freedom laser measuring system with 10 nm positioning resolution and 0.1 arcsec resolution in pitch and roll motion. A capacitor insertion method was used to eliminate the Hysteresis of the PZT actuators and the PI controller was used in this paper. The results of linear positioning and angular motion can achieve the errors within +/-10nm and +/-0.1arcsec. The tracking control results of three-degrees-of -freedom motion in 20 Hz were less than +/- 60nm and +/-1.5arcsec.
510 1 $a Tracking control of the three degrees of freedom Z-tilts micropositioning stage using the capacitor insertion method
610 1 $a Hysteresis $a Nanostage $a PZT $a Three degrees of freedom
610 0 $a 三軸同動 $a 壓電致動器 $a 微動平台 $a 遲滯現象 $a 電容嵌入法
700 $a 陳 $b 財源 $3 523773
702 $a 劉 $b 建宏 $3 438785
702 $a 覺 $b 文郁 $3 487883
712 $a 國立虎尾科技大學 $b 工業工程與管理究所 $3 523742
770 $a Tsai-Yuan Chen $3 586614
772 $a Chien-hung Liu $3 586588
772 $a Wen-Yuh Jywe $3 530578
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801 2 $a cw $b 虎尾科技大學 $c 20090416 $g CCR
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