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穿透式雷射掃描角度偏向顯微鏡之研究 = Study on Transmi...

邱銘宏

穿透式雷射掃描角度偏向顯微鏡之研究 = Study on Transmission type Laser-scanning Angular Deviation Microscope

Record Type:	Language materials, printed : monographic
Paralel Title:	Study on Transmission type Laser-scanning Angular Deviation Microscope
Author:	賴枝文,
Secondary Intellectual Responsibility:	邱銘宏,
Secondary Intellectual Responsibility:	國立虎尾科技大學
Place of Publication:	雲林縣
Published:	國立虎尾科技大學;
Year of Publication:	民96[2007]
Edition:	初版
Description:	80面圖,表 : 30公分;
Subject:	angular sensor
Subject:	共光程外差
Online resource:	http://140.130.12.251/ETD-db/ETD-search-c/view_etd?URN=etd-0724107-075701
Summary:	本研究主要提出利用共光程外差干涉術結合了高靈敏度表面電漿共振(Surface plasmon resonance; SPR)角度感測架構，來同時增加量測的範圍及縱向之解析度。當穿透光束入射待測物後，因折射率及表面高度變化使得光束產生收斂或發散的極微小角度變化，而當光束再經由SPR微小角度感測器部分時，會使得入射角偏離了共振角造成SPR感測器有明顯的相位變化，並由外差干涉術得到相位變化值。待測物件的折射率及表面形貌變化都和相位變化成正比關係，所以量測到個別的相位變化時，即可描繪出待測物件的表面形貌變化或折射率的分佈。縱向解析度方面更可高達nm等級，優點上具有非接觸性、非破壞性、樣品不需有導電性也不用作任何額外的處理、高解析能力(~1nm)、大量測範圍(±80μm) 、因共光程結構故有極高的穩定性。 A microscopy based on the common-path heterodyne interferometry and using an ultra-high sensitivity SPR (surface plasmon resonance) angular sensor is presented. It is used to measure a transparent medium profile by transferring the phase distributions to the refractive index profile or topography. An angle deviation of light due to the height or refractive index variation is detected using a SPR sensor and its corresponding phase shift is measured by the use of heterodyne technique. The axis resolution is better than 1nm while the numerical aperture of the objective lens is larger than the value of 0.6.

穿透式雷射掃描角度偏向顯微鏡之研究 = Study on Transmission type Laser-scanning Angular Deviation Microscope
賴, 枝文

穿透式雷射掃描角度偏向顯微鏡之研究 = Study on Transmission type Laser-scanning Angular Deviation Microscope / 賴枝文撰 - 初版. - 雲林縣 : 國立虎尾科技大學, 民96[2007]. - 80面 ; 圖,表 ; 30公分.
angular sensor共光程外差

邱, 銘宏

穿透式雷射掃描角度偏向顯微鏡之研究 = Study on Transmission type Laser-scanning Angular Deviation Microscope
LDR:02594nam0 2200253 450 001 540345
010 0 $b 平裝
100 $a 20090416h akaa0chia50020302ba
101 0 $a chi
102 $a cw
105 $a ak am 000yy
200 1 $a 穿透式雷射掃描角度偏向顯微鏡之研究 $d Study on Transmission type Laser-scanning Angular Deviation Microscope $f 賴枝文撰
205 $a 初版
210 $a 雲林縣 $d 民96[2007] $c 國立虎尾科技大學
215 0 $a 80面 $c 圖,表 $d 30公分
314 $a 指導教授：邱銘宏
328 $a 碩士論文--國立虎尾科技大學光電與材料科技研究所
330 $a 本研究主要提出利用共光程外差干涉術結合了高靈敏度表面電漿共振(Surface plasmon resonance; SPR)角度感測架構，來同時增加量測的範圍及縱向之解析度。當穿透光束入射待測物後，因折射率及表面高度變化使得光束產生收斂或發散的極微小角度變化，而當光束再經由SPR微小角度感測器部分時，會使得入射角偏離了共振角造成SPR感測器有明顯的相位變化，並由外差干涉術得到相位變化值。待測物件的折射率及表面形貌變化都和相位變化成正比關係，所以量測到個別的相位變化時，即可描繪出待測物件的表面形貌變化或折射率的分佈。縱向解析度方面更可高達nm等級，優點上具有非接觸性、非破壞性、樣品不需有導電性也不用作任何額外的處理、高解析能力(~1nm)、大量測範圍(±80μm) 、因共光程結構故有極高的穩定性。 A microscopy based on the common-path heterodyne interferometry and using an ultra-high sensitivity SPR (surface plasmon resonance) angular sensor is presented. It is used to measure a transparent medium profile by transferring the phase distributions to the refractive index profile or topography. An angle deviation of light due to the height or refractive index variation is detected using a SPR sensor and its corresponding phase shift is measured by the use of heterodyne technique. The axis resolution is better than 1nm while the numerical aperture of the objective lens is larger than the value of 0.6.
510 1 $a Study on Transmission type Laser-scanning Angular Deviation Microscope
610 1 $a angular sensor $a common-path heterodyne interferometry
610 0 $a 共光程外差 $a 微小角度感測器 $a 表面電漿共振
681 $a 008.166M $b 5740
700 $a 賴 $b 枝文 $3 523804
702 $a 邱 $b 銘宏 $3 487789
712 $a 國立虎尾科技大學 $b 工業工程與管理究所 $3 523742
801 0 $a cw $b 虎尾科技大學 $c 20071207 $g CCR
801 2 $a cw $b 虎尾科技大學 $c 20090416 $g CCR
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