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應用於大尺寸工件量測之直度即時補償掃描平台 = Real-Time St...

覺文郁

應用於大尺寸工件量測之直度即時補償掃描平台 = Real-Time Straightness Error Compensation Stage For Measuring Large Size Workpiece

Record Type:	Language materials, printed : monographic
Paralel Title:	Real-Time Straightness Error Compensation Stage For Measuring Large Size Workpiece
Author:	陳睿宏,
Secondary Intellectual Responsibility:	覺文郁,
Secondary Intellectual Responsibility:	劉建宏,
Secondary Intellectual Responsibility:	國立虎尾科技大學
Place of Publication:	雲林縣
Published:	國立虎尾科技大學;
Year of Publication:	民96[2007]
Edition:	初版
Description:	79面圖,表 : 30公分;
Subject:	微動平台，壓電致動器，直度誤差，四象限檢測器
Subject:	Nanostage
Online resource:	http://140.130.12.251/ETD-db/ETD-search-c/view_etd?URN=etd-0815107-085834
Summary:	本論文之精密定位系統的建構，是使用壓電做為致動器，將電能轉換成機械能，推動以撓性結構設計的定位平台，並利用電容式探頭量測位移量，接著由個人微電腦處理取得的位移資料，透過數位PI 回饋控制原理作補償控制法則，計算適當的電壓控制量輸入壓電。另外運用雷射配合四象限檢測器發展一種光學直度尺，可應用於線性平台提供直度誤差量測，並可回饋檢測器訊號至控制單元進行對平台之直度誤差補償，此技術系統架構簡單，且系統元件容易架設於移動平台上，此補償技術能降低線性平台之真直度誤差。光學直度尺量測系統其量測解析度可達0.09μm。最後為驗証此光學系統，架設至一雙軸平台進行直度量測及補償，實驗結果並由HP 直度量測系統驗証，線性平台經即時補償後，其平台真直度誤差可由原先6μm 補償至±0.6μm 以內。

應用於大尺寸工件量測之直度即時補償掃描平台 = Real-Time Straightness Error Compensation Stage For Measuring Large Size Workpiece
陳, 睿宏

應用於大尺寸工件量測之直度即時補償掃描平台 = Real-Time Straightness Error Compensation Stage For Measuring Large Size Workpiece / 陳睿宏撰 - 初版. - 雲林縣 : 國立虎尾科技大學, 民96[2007]. - 79面 ; 圖,表 ; 30公分.
微動平台，壓電致動器，直度誤差，四象限檢測器 Nanostage

覺, 文郁

應用於大尺寸工件量測之直度即時補償掃描平台 = Real-Time Straightness Error Compensation Stage For Measuring Large Size Workpiece
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010 0 $b 平裝
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200 1 $a 應用於大尺寸工件量測之直度即時補償掃描平台 $d Real-Time Straightness Error Compensation Stage For Measuring Large Size Workpiece $f 陳睿宏撰
205 $a 初版
210 $a 雲林縣 $d 民96[2007] $c 國立虎尾科技大學
215 0 $a 79面 $c 圖,表 $d 30公分
314 $a 指導教授：覺文郁
328 $a 碩士論文--國立虎尾科技大學光電與材料科技研究所
330 $a 本論文之精密定位系統的建構，是使用壓電做為致動器，將電能轉換成機械能，推動以撓性結構設計的定位平台，並利用電容式探頭量測位移量，接著由個人微電腦處理取得的位移資料，透過數位PI 回饋控制原理作補償控制法則，計算適當的電壓控制量輸入壓電。另外運用雷射配合四象限檢測器發展一種光學直度尺，可應用於線性平台提供直度誤差量測，並可回饋檢測器訊號至控制單元進行對平台之直度誤差補償，此技術系統架構簡單，且系統元件容易架設於移動平台上，此補償技術能降低線性平台之真直度誤差。光學直度尺量測系統其量測解析度可達0.09μm。最後為驗証此光學系統，架設至一雙軸平台進行直度量測及補償，實驗結果並由HP 直度量測系統驗証，線性平台經即時補償後，其平台真直度誤差可由原先6μm 補償至±0.6μm 以內。
510 1 $a Real-Time Straightness Error Compensation Stage For Measuring Large Size Workpiece
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702 $a 劉 $b 建宏 $3 438785
712 $a 國立虎尾科技大學 $b 工業工程與管理究所 $3 523742
770 $a Rui-Hong Chen $3 586606
772 $a Wen-Yuh Jywe $3 530578
772 $a Chien-hung Liu $3 586588
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