Language:
English
繁體中文
Help
Login
Back
Switch To:
Labeled
|
MARC Mode
|
ISBD
應用於大尺寸工件量測之直度即時補償掃描平台 = Real-Time St...
~
覺文郁
應用於大尺寸工件量測之直度即時補償掃描平台 = Real-Time Straightness Error Compensation Stage For Measuring Large Size Workpiece
Record Type:
Language materials, printed : monographic
Paralel Title:
Real-Time Straightness Error Compensation Stage For Measuring Large Size Workpiece
Author:
陳睿宏,
Secondary Intellectual Responsibility:
覺文郁,
Secondary Intellectual Responsibility:
劉建宏,
Secondary Intellectual Responsibility:
國立虎尾科技大學
Place of Publication:
雲林縣
Published:
國立虎尾科技大學;
Year of Publication:
民96[2007]
Edition:
初版
Description:
79面圖,表 : 30公分;
Subject:
微動平台,壓電致動器,直度誤差,四象限檢測器
Subject:
Nanostage
Online resource:
http://140.130.12.251/ETD-db/ETD-search-c/view_etd?URN=etd-0815107-085834
Summary:
本論文之精密定位系統的建構,是使用壓電做為致動器,將電能 轉換成機械能,推動以撓性結構設計的定位平台,並利用電容式探頭 量測位移量,接著由個人微電腦處理取得的位移資料,透過數位PI 回 饋控制原理作補償控制法則,計算適當的電壓控制量輸入壓電。 另外運用雷射配合四象限檢測器發展一種光學直度尺,可應用於線性 平台提供直度誤差量測,並可回饋檢測器訊號至控制單元進行對平台之 直度誤差補償,此技術系統架構簡單,且系統元件容易架設於移動平台 上,此補償技術能降低線性平台之真直度誤差。光學直度尺量測系統其 量測解析度可達0.09μm。 最後為驗証此光學系統,架設至一雙軸平台進行直度量測及補償, 實驗結果並由HP 直度量測系統驗証,線性平台經即時補償後,其平台真 直度誤差可由原先6μm 補償至±0.6μm 以內。
應用於大尺寸工件量測之直度即時補償掃描平台 = Real-Time Straightness Error Compensation Stage For Measuring Large Size Workpiece
陳, 睿宏
應用於大尺寸工件量測之直度即時補償掃描平台
= Real-Time Straightness Error Compensation Stage For Measuring Large Size Workpiece / 陳睿宏撰 - 初版. - 雲林縣 : 國立虎尾科技大學, 民96[2007]. - 79面 ; 圖,表 ; 30公分.
微動平台,壓電致動器,直度誤差,四象限檢測器 Nanostage
覺, 文郁
應用於大尺寸工件量測之直度即時補償掃描平台 = Real-Time Straightness Error Compensation Stage For Measuring Large Size Workpiece
LDR
:02072nam a2200253 a 4500
001
540357
010
0
$b
平裝
100
$a
20090416h akaa0chia50020302ba
101
0
$a
chi
102
$a
cw
105
$a
ak am 000yy
200
1
$a
應用於大尺寸工件量測之直度即時補償掃描平台
$d
Real-Time Straightness Error Compensation Stage For Measuring Large Size Workpiece
$f
陳睿宏撰
205
$a
初版
210
$a
雲林縣
$d
民96[2007]
$c
國立虎尾科技大學
215
0
$a
79面
$c
圖,表
$d
30公分
314
$a
指導教授:覺文郁
328
$a
碩士論文--國立虎尾科技大學光電與材料科技研究所
330
$a
本論文之精密定位系統的建構,是使用壓電做為致動器,將電能 轉換成機械能,推動以撓性結構設計的定位平台,並利用電容式探頭 量測位移量,接著由個人微電腦處理取得的位移資料,透過數位PI 回 饋控制原理作補償控制法則,計算適當的電壓控制量輸入壓電。 另外運用雷射配合四象限檢測器發展一種光學直度尺,可應用於線性 平台提供直度誤差量測,並可回饋檢測器訊號至控制單元進行對平台之 直度誤差補償,此技術系統架構簡單,且系統元件容易架設於移動平台 上,此補償技術能降低線性平台之真直度誤差。光學直度尺量測系統其 量測解析度可達0.09μm。 最後為驗証此光學系統,架設至一雙軸平台進行直度量測及補償, 實驗結果並由HP 直度量測系統驗証,線性平台經即時補償後,其平台真 直度誤差可由原先6μm 補償至±0.6μm 以內。
510
1
$a
Real-Time Straightness Error Compensation Stage For Measuring Large Size Workpiece
610
0
$a
微動平台,壓電致動器,直度誤差,四象限檢測器
610
1
$a
Nanostage
$a
PZT
$a
Quarter detector
$a
Straightness error
681
$a
008.166M
$b
7523
700
$a
陳
$b
睿宏
$3
523816
702
$a
覺
$b
文郁
$3
487883
702
$a
劉
$b
建宏
$3
438785
712
$a
國立虎尾科技大學
$b
工業工程與管理究所
$3
523742
770
$a
Rui-Hong Chen
$3
586606
772
$a
Wen-Yuh Jywe
$3
530578
772
$a
Chien-hung Liu
$3
586588
801
0
$a
cw
$b
虎尾科技大學
$c
20071207
$g
CCR
801
2
$a
cw
$b
虎尾科技大學
$c
20090416
$g
CCR
856
7
$u
http://140.130.12.251/ETD-db/ETD-search-c/view_etd?URN=etd-0815107-085834
based on 0 review(s)
ALL
圖書館B1F 博碩士論文專區
Items
1 records • Pages 1 •
1
Inventory Number
Location Name
Item Class
Material type
Call number
Usage Class
Loan Status
No. of reservations
Opac note
Attachments
T000737
圖書館B1F 博碩士論文專區
不流通(NON_CIR)
碩士論文(TM)
TM 008.166M 7523 96
一般使用(Normal)
On shelf
0
1 records • Pages 1 •
1
Multimedia
Reviews
Add a review
and share your thoughts with other readers
Export
pickup library
Processing
...
Change password
Login