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長行程奈米級精密平台研製 = Design and Control of...

Yi-Tsung Li

長行程奈米級精密平台研製 = Design and Control of a Long-Stroke-Nano-Positioning Stage

紀錄類型:	書目-語言資料,印刷品 : 單行本
並列題名:	Design and Control of a Long-Stroke-Nano-Positioning Stage
作者:	李羿宗,
其他作者:	覺文郁,
其他團體作者:	國立虎尾科技大學
出版地:	雲林縣
出版者:	國立虎尾科技大學;
出版年:	民96[2007]
版本:	初版
面頁冊數:	84面圖,表 : 30公分;
標題:	&
標題:	Ball Screw
電子資源:	http://140.130.12.251/ETD-db/ETD-search-c/view_etd?URN=etd-0731107-153144
摘要註:	本論文研製一奈米級長行程精密定位平台，並整合精密控制、精密量測、結構設計與加工組裝等四項主體，其特色是結合X-Y雙軸長行程導螺桿平台、三自由度壓電微動平台、三自由度量測系統與雙軸長行程奈米級精密平台控制系統。藉由X-Y雙軸長行程導螺桿平台進行微米級長行程定位後，再由三自由度壓電微動平台進行奈米級定位，最後經由三自由度量測系統，將量測數據傳送至PID控制系統，使本平台具有300 × 300 mm之長行程定位能力、定位可達10奈米之高精度、可以34.5 mm/s之高速度移動以及可讓偏搖角補償達1 acesec之低角度誤差等特性。 A dual-axis long-stroke-nano-positioning stage was developed in this project. A traditional ball screw and linear guided way, provided by the PMI Co. Taiwan, was employed with a 3-DOF piezo-stage, 3-DOF measurement system and a PID closed-loop countroller for this stage. The working range of the stage can be up to 300 mm × 300mm with a resolution of 10 nm in each linear axis and 1 arcsec in the rotary axis.

長行程奈米級精密平台研製 = Design and Control of a Long-Stroke-Nano-Positioning Stage
李, 羿宗

長行程奈米級精密平台研製 = Design and Control of a Long-Stroke-Nano-Positioning Stage / 李羿宗撰 - 初版. - 雲林縣 : 國立虎尾科技大學, 民96[2007]. - 84面 ; 圖,表 ; 30公分.
&Ball Screw

覺, 文郁

長行程奈米級精密平台研製 = Design and Control of a Long-Stroke-Nano-Positioning Stage
LDR:02182nam0 2200253 450 001 540447
010 0 $b 平裝
100 $a 20090414h akaa0chia50020302ba
101 0 $a chi
102 $a cw
105 $a ak am 000yy
200 1 $a 長行程奈米級精密平台研製 $d Design and Control of a Long-Stroke-Nano-Positioning Stage $f 李羿宗撰
205 $a 初版
210 $a 雲林縣 $d 民96[2007] $c 國立虎尾科技大學
215 0 $a 84面 $c 圖,表 $d 30公分
314 $a 指導教授：覺文郁
328 $a 碩士論文--國立虎尾科技大學機械與機電工程研究所
330 $a 本論文研製一奈米級長行程精密定位平台，並整合精密控制、精密量測、結構設計與加工組裝等四項主體，其特色是結合X-Y雙軸長行程導螺桿平台、三自由度壓電微動平台、三自由度量測系統與雙軸長行程奈米級精密平台控制系統。藉由X-Y雙軸長行程導螺桿平台進行微米級長行程定位後，再由三自由度壓電微動平台進行奈米級定位，最後經由三自由度量測系統，將量測數據傳送至PID控制系統，使本平台具有300 × 300 mm之長行程定位能力、定位可達10奈米之高精度、可以34.5 mm/s之高速度移動以及可讓偏搖角補償達1 acesec之低角度誤差等特性。 A dual-axis long-stroke-nano-positioning stage was developed in this project. A traditional ball screw and linear guided way, provided by the PMI Co. Taiwan, was employed with a 3-DOF piezo-stage, 3-DOF measurement system and a PID closed-loop countroller for this stage. The working range of the stage can be up to 300 mm × 300mm with a resolution of 10 nm in each linear axis and 1 arcsec in the rotary axis.
510 1 $a Design and Control of a Long-Stroke-Nano-Positioning Stage.
610 0 $a & $a 滾珠導& $a 雙軸長& $a 高剛性三自由&
610 1 $a Ball Screw $a Digitized structure analysis $a Dual-axis long-stroke-nano-positioning stage $a High rigidity 3-DOF piezo-nano-stage.
681 $a 008.154M $b 4013
700 $a 李 $b 羿宗 $3 523896
702 $a 覺 $b 文郁 $3 487883
712 $a 國立虎尾科技大學 $b 工業工程與管理究所 $3 523742
770 $a Wen-Yuh Jywe $3 530578
772 $a Yi-Tsung Li $3 586546
801 0 $a cw $b 虎尾科技大學 $c 20071207 $g CCR
801 2 $a cw $b 虎尾科技大學 $c 20090414 $g CCR
856 7 $u http://140.130.12.251/ETD-db/ETD-search-c/view_etd?URN=etd-0731107-153144