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二自由度對位量測系統開發 = Development of a two-...
~
Hung-Kuang Chen
二自由度對位量測系統開發 = Development of a two-degree-of-freedom alignment measurement system
紀錄類型:
書目-語言資料,印刷品 : 單行本
並列題名:
Development of a two-degree-of-freedom alignment measurement system
作者:
陳宏光,
其他作者:
覺文郁,
其他作者:
劉建宏,
出版地:
雲林縣
出版者:
國立虎尾科技大學;
出版年:
民97[2008]
版本:
初版
面頁冊數:
78面圖 : 30公分;
標題:
光學尺
標題:
光柵
標題:
奈米壓印
標題:
對位
標題:
晶圓
標題:
alignment
標題:
grating
標題:
linear encoder
標題:
nano-imprint
標題:
wafer
電子資源:
http://cetd.lib.nfu.edu.tw/etdservice/view_metadata?etdun=U0028-3007200811473200
二自由度對位量測系統開發 = Development of a two-degree-of-freedom alignment measurement system
陳, 宏光
二自由度對位量測系統開發
= Development of a two-degree-of-freedom alignment measurement system / 陳宏光撰 - 初版. - 雲林縣 : 國立虎尾科技大學, 民97[2008]. - 78面 ; 圖 ; 30公分.
含參考書目.
光學尺光柵奈米壓印對位晶圓alignmentgratinglinear encodernano-imprintwafer
覺, 文郁
二自由度對位量測系統開發 = Development of a two-degree-of-freedom alignment measurement system
LDR
:01152nam0 2200337 450
001
549198
010
0
$b
平裝
100
$a
20090331h akaa0chia50020302ba
101
0
$a
chi
$d
chi
$d
eng
102
$a
tw
200
1
$a
二自由度對位量測系統開發
$d
Development of a two-degree-of-freedom alignment measurement system
$f
陳宏光撰
205
$a
初版
210
$a
雲林縣
$d
民97[2008]
$c
國立虎尾科技大學
215
0
$a
78面
$c
圖
$d
30公分
314
$a
指導教授 : 覺文郁、劉建宏
320
$a
含參考書目
328
$a
碩士論文--國立虎尾科技大學機械與機電工程研究所
510
1
$a
Development of a two-degree-of-freedom alignment measurement system
610
0
$a
光學尺
610
0
$a
光柵
610
0
$a
奈米壓印
610
0
$a
對位
610
0
$a
晶圓
610
1
$a
alignment
610
1
$a
grating
610
1
$a
linear encoder
610
1
$a
nano-imprint
610
1
$a
wafer
681
$a
008.154M
$b
7539
700
$a
陳
$b
宏光
$3
533860
702
$a
覺
$b
文郁
$3
487883
702
$a
劉
$b
建宏
$3
438785
770
$a
Hung-Kuang Chen
$3
533861
772
$a
Wen-Yuh Jywe
$3
530578
772
$a
Chien-Hung Liu
$3
538362
801
0
$a
tw
$b
國立虎尾科技大學圖書館
$c
20081111
801
1
$a
tw
$b
國立虎尾科技大學圖書館
$c
20081230
856
4
$u
http://cetd.lib.nfu.edu.tw/etdservice/view_metadata?etdun=U0028-3007200811473200
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全部
圖書館B1F 博碩士論文專區
圖書館B1F 可外借論文區
館藏
2 筆 • 頁數 1 •
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索書號
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預約狀態
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T000620
圖書館B1F 博碩士論文專區
不流通(NON_CIR)
碩士論文(TM)
008.154M 7539 97 1
一般使用(Normal)
在架
0
T000621
圖書館B1F 可外借論文區
不流通(NON_CIR)
一般圖書
008.154M 7539 97 2
一般使用(Normal)
在架
0
2 筆 • 頁數 1 •
1
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