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微電子工藝基礎 : 電子資源

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李薇薇

微電子工藝基礎 : 電子資源

Record Type:	Language materials, printed : monographic
Title Information:	電子資源
Author:	李薇薇
Alternative Intellectual Responsibility:	王勝利
Alternative Intellectual Responsibility:	劉玉嶺
Place of Publication:	北京
Published:	化學工業出版社;
Year of Publication:	2007
Subject:	微電子技術 -
Online resource:	http://ttec.lib.apabi.com:80/product.asp?BookID=m%2e20080103%2dm000%2dw011%2d069
Summary:	本書共分10章，前部份主要介紹了集成電路制備工藝中有關的物理、化學知識、第4章至第10章是全書重點，介紹了工藝過程、工藝設備以及IC制備中的新技術、新方法。
ISBN:	9787502595203

微電子工藝基礎 : 電子資源
李薇薇

微電子工藝基礎 : 電子資源 / 李薇薇, 王勝利, 劉玉嶺編著 - 北京 : 化學工業出版社, 2007.
ISBN 9787502595203
微電子技術

王勝利

微電子工藝基礎 : 電子資源
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102 $a cn $b 110000
200 1 $a 微電子工藝基礎 $e 電子資源 $f 李薇薇, 王勝利, 劉玉嶺編著
204 0 $a 電子圖書
210 $a 北京 $d 2007 $c 化學工業出版社
304 $a 正題名取自題名屏
330 $a 本書共分10章，前部份主要介紹了集成電路制備工藝中有關的物理、化學知識、第4章至第10章是全書重點，介紹了工藝過程、工藝設備以及IC制備中的新技術、新方法。
336 $a 文本型
337 $a 需要下載並安裝APABI Reader軟件閱讀電子圖書
606 0 $a 微電子技術 $3 601685 $2 cth $3 727654
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