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形狀及熱效應對面型微製造彎曲式光柵之影響 = Shape and the...

廖振傑

形狀及熱效應對面型微製造彎曲式光柵之影響 = Shape and thermal effects of metal films on stress-induced bending of surface micromachined curved grating

Record Type:	Language materials, printed : monographic
Paralel Title:	Shape and thermal effects of metal films on stress-induced bending of surface micromachined curved grating
Author:	廖振傑,
Secondary Intellectual Responsibility:	郭如男,
Place of Publication:	雲林縣
Published:	國立虎尾科技大學;
Year of Publication:	民98[2009]
Edition:	初版
Description:	89面圖 : 30公分;
Subject:	光柵
Subject:	微機電系統
Subject:	懸臂樑
Subject:	有限元素法
Subject:	Cantilever Beam
Subject:	Finite Element Analysis
Subject:	Grating
Subject:	MEMS
Online resource:	http://cetd.lib.nfu.edu.tw/etdservice/view_metadata?etdun=U0028-2707200923491700

形狀及熱效應對面型微製造彎曲式光柵之影響 = Shape and thermal effects of metal films on stress-induced bending of surface micromachined curved grating
廖, 振傑

形狀及熱效應對面型微製造彎曲式光柵之影響 = Shape and thermal effects of metal films on stress-induced bending of surface micromachined curved grating / 廖振傑撰 - 初版. - 雲林縣 : 國立虎尾科技大學, 民98[2009]. - 89面 ; 圖 ; 30公分.
含參考書目.
光柵微機電系統懸臂樑有限元素法Cantilever BeamFinite Element AnalysisGratingMEMS

郭, 如男

形狀及熱效應對面型微製造彎曲式光柵之影響 = Shape and thermal effects of metal films on stress-induced bending of surface micromachined curved grating
LDR:01215nam0 2200313 450 001 609119
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210 $a 雲林縣 $d 民98[2009] $c 國立虎尾科技大學
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314 $a 指導教授 : 郭如男
320 $a 含參考書目
328 $a 碩士論文--國立虎尾科技大學機械與機電工程研究所
510 1 $a Shape and thermal effects of metal films on stress-induced bending of surface micromachined curved grating
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801 0 $a tw $b 國立虎尾科技大學圖書館 $c 20091012
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