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形狀及熱效應對面型微製造彎曲式光柵之影響 = Shape and the...

廖振傑

形狀及熱效應對面型微製造彎曲式光柵之影響 = Shape and thermal effects of metal films on stress-induced bending of surface micromachined curved grating

紀錄類型:	書目-語言資料,印刷品 : 單行本
並列題名:	Shape and thermal effects of metal films on stress-induced bending of surface micromachined curved grating
作者:	廖振傑,
其他作者:	郭如男,
出版地:	雲林縣
出版者:	國立虎尾科技大學;
出版年:	民98[2009]
版本:	初版
面頁冊數:	89面圖 : 30公分;
標題:	光柵
標題:	微機電系統
標題:	懸臂樑
標題:	有限元素法
標題:	Cantilever Beam
標題:	Finite Element Analysis
標題:	Grating
標題:	MEMS
電子資源:	http://cetd.lib.nfu.edu.tw/etdservice/view_metadata?etdun=U0028-2707200923491700

形狀及熱效應對面型微製造彎曲式光柵之影響 = Shape and thermal effects of metal films on stress-induced bending of surface micromachined curved grating
廖, 振傑

形狀及熱效應對面型微製造彎曲式光柵之影響 = Shape and thermal effects of metal films on stress-induced bending of surface micromachined curved grating / 廖振傑撰 - 初版. - 雲林縣 : 國立虎尾科技大學, 民98[2009]. - 89面 ; 圖 ; 30公分.
含參考書目.
光柵微機電系統懸臂樑有限元素法Cantilever BeamFinite Element AnalysisGratingMEMS

郭, 如男

形狀及熱效應對面型微製造彎曲式光柵之影響 = Shape and thermal effects of metal films on stress-induced bending of surface micromachined curved grating
LDR:01215nam0 2200313 450 001 609119
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200 1 $a 形狀及熱效應對面型微製造彎曲式光柵之影響 $d Shape and thermal effects of metal films on stress-induced bending of surface micromachined curved grating $f 廖振傑撰
205 $a 初版
210 $a 雲林縣 $d 民98[2009] $c 國立虎尾科技大學
215 0 $a 89面 $c 圖 $d 30公分
314 $a 指導教授 : 郭如男
320 $a 含參考書目
328 $a 碩士論文--國立虎尾科技大學機械與機電工程研究所
510 1 $a Shape and thermal effects of metal films on stress-induced bending of surface micromachined curved grating
610 0 $a 光柵
610 0 $a 微機電系統
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801 0 $a tw $b 國立虎尾科技大學圖書館 $c 20091012
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