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變壓耦合式電漿蝕刻技術於奈米圖案化藍寶石基板之應用 = Fabricat...

Fuh- Shyang Juang

變壓耦合式電漿蝕刻技術於奈米圖案化藍寶石基板之應用 = Fabrication and Characteristics of Nano-Pattern on Sapphire Substrate by Transformer Coupled Plasma Etching Technology

紀錄類型:	書目-語言資料,印刷品 : 單行本
並列題名:	Fabrication and Characteristics of Nano-Pattern on Sapphire Substrate by Transformer Coupled Plasma Etching Technology
作者:	莊大緯,
其他作者:	莊賦祥,
出版地:	雲林縣
出版者:	國立虎尾科技大學;
出版年:	民99[2010]
版本:	初版
面頁冊數:	45面圖 : 30公分;
標題:	乾蝕刻
標題:	圖案化藍寶石基板
標題:	變壓式耦合電漿蝕刻
標題:	Dry Etching
標題:	Patterned Sapphire Substrate
標題:	Transformer Coupled Plasma Etching
電子資源:	http://cetd.lib.nfu.edu.tw/etdservice/view_metadata?etdun=U0028-3008201010022700

變壓耦合式電漿蝕刻技術於奈米圖案化藍寶石基板之應用 = Fabrication and Characteristics of Nano-Pattern on Sapphire Substrate by Transformer Coupled Plasma Etching Technology
莊, 大緯

變壓耦合式電漿蝕刻技術於奈米圖案化藍寶石基板之應用 = Fabrication and Characteristics of Nano-Pattern on Sapphire Substrate by Transformer Coupled Plasma Etching Technology / 莊大緯撰 - 初版. - 雲林縣 : 國立虎尾科技大學, 民99[2010]. - 45面 ; 圖 ; 30公分.
含參考書目.
乾蝕刻圖案化藍寶石基板變壓式耦合電漿蝕刻Dry EtchingPatterned Sapphire SubstrateTransformer Coupled Plasma Etching

莊, 賦祥

變壓耦合式電漿蝕刻技術於奈米圖案化藍寶石基板之應用 = Fabrication and Characteristics of Nano-Pattern on Sapphire Substrate by Transformer Coupled Plasma Etching Technology
LDR:01272nam0 2200289 450 001 649016
010 0 $b 平裝
100 $a 20100831y2010 y0chiy50 e
101 0 $a chi $d chi $d eng
102 $a tw
200 1 $a 變壓耦合式電漿蝕刻技術於奈米圖案化藍寶石基板之應用 $d Fabrication and Characteristics of Nano-Pattern on Sapphire Substrate by Transformer Coupled Plasma Etching Technology $f 莊大緯撰
205 $a 初版
210 $a 雲林縣 $d 民99[2010] $c 國立虎尾科技大學
215 0 $a 45面 $c 圖 $d 30公分
314 $a 指導教授 : 莊賦祥
320 $a 含參考書目
328 $a 碩士論文--國立虎尾科技大學光電與材料科技研究所在職專班
510 1 $a Fabrication and Characteristics of Nano-Pattern on Sapphire Substrate by Transformer Coupled Plasma Etching Technology
610 0 $a 乾蝕刻
610 0 $a 圖案化藍寶石基板
610 0 $a 變壓式耦合電漿蝕刻
610 1 $a Dry Etching
610 1 $a Patterned Sapphire Substrate
610 1 $a Transformer Coupled Plasma Etching
681 $a 008.166M $b 4442
700 1 $a 莊 $b 大緯 $3 718884
702 1 $a 莊 $b 賦祥 $3 487566
770 1 $a Ta-Wei Chuang $3 717950
772 0 $a Fuh- Shyang Juang $3 722043
801 0 $a tw $b 國立虎尾科技大學圖書館 $c 20100914
801 1 $a tw $b 國立虎尾科技大學圖書館 $c 20101014
856 4 $u http://cetd.lib.nfu.edu.tw/etdservice/view_metadata?etdun=U0028-3008201010022700