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應用於壓印設備之奈米級對位系統開發 = Development of a...

Po-Yu Chen

應用於壓印設備之奈米級對位系統開發 = Development of a Nano-Positioning alignment stage for the nano imprint device

Record Type:	Language materials, printed : monographic
Paralel Title:	Development of a Nano-Positioning alignment stage for the nano imprint device
Author:	陳柏宇,
Secondary Intellectual Responsibility:	陳世欣,
Secondary Intellectual Responsibility:	覺文郁,
Place of Publication:	雲林縣
Published:	國立虎尾科技大學;
Year of Publication:	民99[2010]
Edition:	初版
Description:	114面圖 : 30公分;
Subject:	三自由度
Subject:	壓電平台
Subject:	奈米級對位系統
Subject:	步進馬達
Subject:	nano-positioning alignment system
Subject:	piezoelectric stage
Subject:	stepping motor
Subject:	three-degrees-of freedom
Online resource:	http://cetd.lib.nfu.edu.tw/etdservice/view_metadata?etdun=U0028-2008201016165500

應用於壓印設備之奈米級對位系統開發 = Development of a Nano-Positioning alignment stage for the nano imprint device
陳, 柏宇

應用於壓印設備之奈米級對位系統開發 = Development of a Nano-Positioning alignment stage for the nano imprint device / 陳柏宇撰 - 初版. - 雲林縣 : 國立虎尾科技大學, 民99[2010]. - 114面 ; 圖 ; 30公分.
含參考書目.
三自由度壓電平台奈米級對位系統步進馬達nano-positioning alignment systempiezoelectric stagestepping motorthree-degrees-of freedom

陳, 世欣

應用於壓印設備之奈米級對位系統開發 = Development of a Nano-Positioning alignment stage for the nano imprint device
LDR:01215nam a2200313 a 4500 001 649067
010 0 $b 平裝
100 $a 20100824y2010 y0chiy50 e
101 0 $a chi $d chi $d eng
102 $a tw
200 1 $a 應用於壓印設備之奈米級對位系統開發 $d Development of a Nano-Positioning alignment stage for the nano imprint device $f 陳柏宇撰
205 $a 初版
210 $a 雲林縣 $d 民99[2010] $c 國立虎尾科技大學
215 0 $a 114面 $c 圖 $d 30公分
314 $a 指導教授 : 陳世欣、絕文郁
320 $a 含參考書目
328 $a 碩士論文--國立虎尾科技大學機械與機電工程研究所
510 1 $a Development of a Nano-Positioning alignment stage for the nano imprint device
610 0 $a 三自由度
610 0 $a 壓電平台
610 0 $a 奈米級對位系統
610 0 $a 步進馬達
610 1 $a nano-positioning alignment system
610 1 $a piezoelectric stage
610 1 $a stepping motor
610 1 $a three-degrees-of freedom
681 $a 008.154M $b 7543
700 1 $a 陳 $b 柏宇 $3 718939
702 1 $a 陳 $b 世欣 $3 541180
702 1 $a 覺 $b 文郁 $3 487883
770 1 $a Po-Yu Chen $3 718052
772 0 $a Shih-Hsin Chen $3 722051
772 0 $a Wen-Yuh Jywe $3 530578
801 0 $a tw $b 國立虎尾科技大學圖書館 $c 20100914
801 1 $a tw $b 國立虎尾科技大學圖書館 $c 20101015
856 4 $u http://cetd.lib.nfu.edu.tw/etdservice/view_metadata?etdun=U0028-2008201016165500