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MEMS可靠性

~

宋競

MEMS可靠性

Record Type:	Language materials, printed : monographic
Author:	T
Secondary Intellectual Responsibility:	宋競
Place of Publication:	南京
Published:	東南大學出版社;
Year of Publication:	2009
Subject:	微電子技術 -
Online resource:	http://cec.lib.apabi.com:80/product.asp?BookID=m%2e20090805%2dm802%2dw084%2d013
Summary:	本書分為兩部份. 第一部份論述MEMS材料的可靠性內容及主要表徵方法, 包括MEMS材料的可靠性, 微納壓痕儀, 鼓脹測試, 彎曲測試, 單軸張應力測試, 片上測試; 第二部份論述MEMS器件的可靠性, 包括壓力傳感器可靠性, 慣性傳感器可靠性, RFMEMS可靠性和光MEMS可靠性.
ISBN:	9787564115753

MEMS可靠性
T

MEMS可靠性 [電子書] / (日本) O. Tabata, T. Tsuchiya著 ; 宋競 ... [等]譯 - 南京 : 東南大學出版社, 2009.
ISBN 9787564115753
微電子技術

宋競

MEMS可靠性
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330 $a 本書分為兩部份. 第一部份論述MEMS材料的可靠性內容及主要表徵方法, 包括MEMS材料的可靠性, 微納壓痕儀, 鼓脹測試, 彎曲測試, 單軸張應力測試, 片上測試; 第二部份論述MEMS器件的可靠性, 包括壓力傳感器可靠性, 慣性傳感器可靠性, RFMEMS可靠性和光MEMS可靠性.
337 $a 需要下載並安裝APABI Reader軟件閱讀電子圖書
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