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六自由度奈米量測機控制 = Control Of A Six-Degre...

Qun-Zhong Lu

六自由度奈米量測機控制 = Control Of A Six-Degrees-Of-Freedom Nanomeasuring Machine

紀錄類型:	書目-語言資料,印刷品 : 單行本
並列題名:	Control Of A Six-Degrees-Of-Freedom Nanomeasuring Machine
作者:	盧群中,
其他作者:	沈金鐘,
出版地:	雲林縣
出版者:	國立虎尾科技大學;
出版年:	民101[2012]
面頁冊數:	99面圖 : 30公分;
標題:	壓電致動器
標題:	XY軸滑軌平台
標題:	順滑模態控制器
標題:	PID控制器
標題:	六自由度
標題:	音圈馬達
標題:	四自由度壓電平台
標題:	piezoelectric actuator
標題:	X-Y stage
標題:	sliding-mode controller
標題:	PID controller
標題:	six-degrees-of-freedom
標題:	voice coil
標題:	PZT stage
電子資源:	http://cetd.lib.nfu.edu.tw/etdservice/view_metadata?etdun=U0028-1407201115324700

六自由度奈米量測機控制 = Control Of A Six-Degrees-Of-Freedom Nanomeasuring Machine
盧, 群中

六自由度奈米量測機控制 = Control Of A Six-Degrees-Of-Freedom Nanomeasuring Machine / 盧群中撰 - 雲林縣 : 國立虎尾科技大學, 民101[2012]. - 99面 ; 圖 ; 30公分.
含參考書目.
壓電致動器XY軸滑軌平台順滑模態控制器PID控制器六自由度音圈馬達四自由度壓電平台piezoelectric actuatorX-Y stagesliding-mode controllerPID controllersix-degrees-of-freedomvoice coilPZT stage

沈, 金鐘

六自由度奈米量測機控制 = Control Of A Six-Degrees-Of-Freedom Nanomeasuring Machine
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210 $a 雲林縣 $d 民101[2012] $c 國立虎尾科技大學
215 0 $a 99面 $c 圖 $d 30公分
314 $a 指導教授 : 沈金鐘
320 $a 含參考書目
328 $a 碩士論文--國立虎尾科技大學自動化工程研究所
510 1 $a Control Of A Six-Degrees-Of-Freedom Nanomeasuring Machine
610 # 0 $a 壓電致動器
610 # 0 $a XY軸滑軌平台
610 # 0 $a 順滑模態控制器
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610 # 0 $a 音圈馬達
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