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奈米深度玻璃流道製作與毛細充填現象之研究 = Capillary Fil...

郭如男

奈米深度玻璃流道製作與毛細充填現象之研究 = Capillary Filling in One Dimensional Nanochannels Fabricated Using Thin Glass-Glass Bonding

Record Type:	Language materials, printed : monographic
Paralel Title:	Capillary Filling in One Dimensional Nanochannels Fabricated Using Thin Glass-Glass Bonding
Author:	林義凱,
Secondary Intellectual Responsibility:	郭如男,
Place of Publication:	雲林縣
Published:	國立虎尾科技大學;
Year of Publication:	民100[2011]
Edition:	初版
Description:	72面圖 : 30公分;
Subject:	黃光微影
Subject:	奈米流道
Subject:	濕式蝕刻
Subject:	深寬比
Subject:	毛細充填
Subject:	Aspect ratio
Subject:	Capillary filling
Subject:	Lithography
Subject:	Nanofluidic channel
Subject:	Wet etching.
Online resource:	http://cetd.lib.nfu.edu.tw/etdservice/view_metadata?etdun=U0028-2305201122175500

奈米深度玻璃流道製作與毛細充填現象之研究 = Capillary Filling in One Dimensional Nanochannels Fabricated Using Thin Glass-Glass Bonding
林, 義凱

奈米深度玻璃流道製作與毛細充填現象之研究 = Capillary Filling in One Dimensional Nanochannels Fabricated Using Thin Glass-Glass Bonding / 林義凱撰 - 初版. - 雲林縣 : 國立虎尾科技大學, 民100[2011]. - 72面 ; 圖 ; 30公分.
含參考書目.
黃光微影奈米流道濕式蝕刻深寬比毛細充填Aspect ratioCapillary fillingLithographyNanofluidic channelWet etching.

郭, 如男

奈米深度玻璃流道製作與毛細充填現象之研究 = Capillary Filling in One Dimensional Nanochannels Fabricated Using Thin Glass-Glass Bonding
LDR:01277nam0 2200349 450 001 674383
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010 0 $b 平裝
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205 $a 初版
210 $a 雲林縣 $d 民100[2011] $c 國立虎尾科技大學
215 0 $a 72面 $c 圖 $d 30公分
314 $a 指導教授 : 郭如男
320 $a 含參考書目
328 $a 碩士論文--國立虎尾科技大學自動化工程研究所
510 1 $a Capillary Filling in One Dimensional Nanochannels Fabricated Using Thin Glass-Glass Bonding
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