國立虎尾科技大學 |

Language: English

Back

濺鍍槍之改良與其應用於鍍膜之特性研究 = Characterizatio...

Chih-Lu Huang

濺鍍槍之改良與其應用於鍍膜之特性研究 = Characterization of the Modified Sputtering Gun Applied on Thin Film Deposition

Record Type:	Language materials, printed : monographic
Paralel Title:	Characterization of the Modified Sputtering Gun Applied on Thin Film Deposition
Author:	黃智祿,
Secondary Intellectual Responsibility:	陳文瑞,
Place of Publication:	雲林縣
Published:	國立虎尾科技大學;
Year of Publication:	民101[2012]
Description:	91面圖 : 30公分;
Subject:	濺鍍槍
Subject:	鋁
Subject:	矽
Subject:	碳化矽
Subject:	Sputtering gun
Subject:	Al
Subject:	Si
Subject:	SiC
Online resource:	http://cetd.lib.nfu.edu.tw/etdservice/view_metadata?etdun=U0028-1002201217461600

濺鍍槍之改良與其應用於鍍膜之特性研究 = Characterization of the Modified Sputtering Gun Applied on Thin Film Deposition
黃, 智祿

濺鍍槍之改良與其應用於鍍膜之特性研究 = Characterization of the Modified Sputtering Gun Applied on Thin Film Deposition / 黃智祿撰 - 雲林縣 : 國立虎尾科技大學, 民101[2012]. - 91面 ; 圖 ; 30公分.
含參考書目.
濺鍍槍鋁矽碳化矽Sputtering gunAlSiSiC

陳, 文瑞

濺鍍槍之改良與其應用於鍍膜之特性研究 = Characterization of the Modified Sputtering Gun Applied on Thin Film Deposition
LDR:01118nam0 2200313 450 001 693125
005 20130529140615.0
010 0 $b 平裝
100 $a 20120306d m y0chib
101 0 $a chi $d chi $d eng
102 $a tw
200 1 $a 濺鍍槍之改良與其應用於鍍膜之特性研究 $d Characterization of the Modified Sputtering Gun Applied on Thin Film Deposition $f 黃智祿撰
210 $a 雲林縣 $d 民101[2012] $c 國立虎尾科技大學
215 0 $a 91面 $c 圖 $d 30公分
314 $a 指導教授 : 陳文瑞
320 $a 含參考書目
328 $a 碩士論文--國立虎尾科技大學光電與材料科技研究所
510 1 $a Characterization of the Modified Sputtering Gun Applied on Thin Film Deposition
610 # 0 $a 濺鍍槍
610 # 0 $a 鋁
610 # 0 $a 矽
610 # 0 $a 碳化矽
610 # 1 $a Sputtering gun
610 # 1 $a Al
610 # 1 $a Si
610 # 1 $a SiC
681 $a 008.166M $b 4483 $y 101
700 1 $a 黃 $b 智祿 $3 816578
702 1 $a 陳 $b 文瑞 $3 511964
770 1 $a Chih-Lu Huang $3 816579
801 0 $a tw $b 國立虎尾科技大學圖書館 $c 20120305
801 1 $a tw $b 國立虎尾科技大學圖書館 $c 20120305
856 4 # $u http://cetd.lib.nfu.edu.tw/etdservice/view_metadata?etdun=U0028-1002201217461600