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濺鍍槍之改良與其應用於鍍膜之特性研究 = Characterizatio...

Chih-Lu Huang

濺鍍槍之改良與其應用於鍍膜之特性研究 = Characterization of the Modified Sputtering Gun Applied on Thin Film Deposition

紀錄類型:	書目-語言資料,印刷品 : 單行本
並列題名:	Characterization of the Modified Sputtering Gun Applied on Thin Film Deposition
作者:	黃智祿,
其他作者:	陳文瑞,
出版地:	雲林縣
出版者:	國立虎尾科技大學;
出版年:	民101[2012]
面頁冊數:	91面圖 : 30公分;
標題:	濺鍍槍
標題:	鋁
標題:	矽
標題:	碳化矽
標題:	Sputtering gun
標題:	Al
標題:	Si
標題:	SiC
電子資源:	http://cetd.lib.nfu.edu.tw/etdservice/view_metadata?etdun=U0028-1002201217461600

濺鍍槍之改良與其應用於鍍膜之特性研究 = Characterization of the Modified Sputtering Gun Applied on Thin Film Deposition
黃, 智祿

濺鍍槍之改良與其應用於鍍膜之特性研究 = Characterization of the Modified Sputtering Gun Applied on Thin Film Deposition / 黃智祿撰 - 雲林縣 : 國立虎尾科技大學, 民101[2012]. - 91面 ; 圖 ; 30公分.
含參考書目.
濺鍍槍鋁矽碳化矽Sputtering gunAlSiSiC

陳, 文瑞

濺鍍槍之改良與其應用於鍍膜之特性研究 = Characterization of the Modified Sputtering Gun Applied on Thin Film Deposition
LDR:01118nam0 2200313 450 001 693125
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010 0 $b 平裝
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210 $a 雲林縣 $d 民101[2012] $c 國立虎尾科技大學
215 0 $a 91面 $c 圖 $d 30公分
314 $a 指導教授 : 陳文瑞
320 $a 含參考書目
328 $a 碩士論文--國立虎尾科技大學光電與材料科技研究所
510 1 $a Characterization of the Modified Sputtering Gun Applied on Thin Film Deposition
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