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硅材料檢測技術 /
~
康偉超
硅材料檢測技術 /
Record Type:
Language materials, printed : Monograph/item
Title/Author:
硅材料檢測技術 // 康偉超, 王麗
Author:
康偉超
other author:
王麗
Published:
化學工業出版社, : 2009,
Subject:
半導體材料 -
Online resource:
點擊此處查看電子書
ISBN:
9787122055682 :
硅材料檢測技術 /
康偉超
硅材料檢測技術 /
康偉超, 王麗 - 化學工業出版社,2009
本書主要介紹了半導體硅材料常規電學參數的物理測試方法、檢測晶體缺陷的化學腐蝕法、半導體晶體定向法、硅單晶中氧和碳含量的測定方法。本書還介紹了多晶硅中基硼、基磷含量的檢驗方法、純水的制備及高純分析方法。
需要下載並安裝APABI Reader軟件閱讀電子圖書
ISBN: 9787122055682 :CNY27.00Subjects--Topical Terms:
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半導體材料
硅材料檢測技術 /
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