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三自由度壓電式高精度對位平台 = = Development of a ...

劉達浩

三自由度壓電式高精度對位平台 = = Development of a Piezo Precision Alignment Stage with 3-DOF /

Record Type:	Language materials, printed : Monograph/item
Title/Author:	三自由度壓電式高精度對位平台 =/ 劉達浩撰.
Reminder of title:	Development of a Piezo Precision Alignment Stage with 3-DOF /
remainder title:	Development of a Piezo Precision Alignment Stage with 3-DOF.
Author:	劉達浩
Published:	雲林縣 :國立虎尾科技大學 , : 民104.07.,
Description:	[13], 74面 :圖, 表 ; : 30公分.;
Notes:	指導教授：何信璋,覺文郁.
Subject:	Precise Alignment. -
Online resource:	http://cetd.lib.nfu.edu.tw/etdservice/view_metadata?etdun=U0028-1808201515345900

三自由度壓電式高精度對位平台 = = Development of a Piezo Precision Alignment Stage with 3-DOF /
劉達浩

三自由度壓電式高精度對位平台 =Development of a Piezo Precision Alignment Stage with 3-DOF /Development of a Piezo Precision Alignment Stage with 3-DOF.劉達浩撰. - 初版. - 雲林縣 :國立虎尾科技大學 ,民104.07. - [13], 74面 :圖, 表 ;30公分.

指導教授：何信璋,覺文郁.

含參考書目.Subjects--Topical Terms:

1252561
Precise Alignment.

三自由度壓電式高精度對位平台 = = Development of a Piezo Precision Alignment Stage with 3-DOF /
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