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氣體阻障層製備於具有連續沉積-蝕刻有機矽基覆蓋之圖案化表面之研究 = ...
~
陳順祺
氣體阻障層製備於具有連續沉積-蝕刻有機矽基覆蓋之圖案化表面之研究 = = A Study on the Preparation of a Gas Barrier Coated on Patterned Surface Coveraged by Organosilicon Film Using Consecutive Deposition-Etching Process /
紀錄類型:
書目-語言資料,印刷品 : Monograph/item
正題名/作者:
氣體阻障層製備於具有連續沉積-蝕刻有機矽基覆蓋之圖案化表面之研究 = / 陳順祺撰.
其他題名:
A Study on the Preparation of a Gas Barrier Coated on Patterned Surface Coveraged by Organosilicon Film Using Consecutive Deposition-Etching Process /
其他題名:
A Study on the Preparation of a Gas Barrier Coated on Patterned Surface Coveraged by Organosilicon Film Using Consecutive Deposition-Etching Process.
作者:
陳順祺
出版者:
雲林縣 : 國立虎尾科技大學 , : 民105.07.,
面頁冊數:
[10], 87面 : 圖, 表 ; : 30公分.;
附註:
指導教授:劉代山.
標題:
有機矽基薄膜. -
電子資源:
http://cetd.lib.nfu.edu.tw/etdservice/view_metadata?etdun=U0028-0908201614285000
氣體阻障層製備於具有連續沉積-蝕刻有機矽基覆蓋之圖案化表面之研究 = = A Study on the Preparation of a Gas Barrier Coated on Patterned Surface Coveraged by Organosilicon Film Using Consecutive Deposition-Etching Process /
陳順祺
氣體阻障層製備於具有連續沉積-蝕刻有機矽基覆蓋之圖案化表面之研究 =
A Study on the Preparation of a Gas Barrier Coated on Patterned Surface Coveraged by Organosilicon Film Using Consecutive Deposition-Etching Process / A Study on the Preparation of a Gas Barrier Coated on Patterned Surface Coveraged by Organosilicon Film Using Consecutive Deposition-Etching Process.陳順祺撰. - 初版. - 雲林縣 : 國立虎尾科技大學 , 民105.07. - [10], 87面 : 圖, 表 ; 30公分.
指導教授:劉代山.
含參考書目.Subjects--Topical Terms:
1086398
有機矽基薄膜.
氣體阻障層製備於具有連續沉積-蝕刻有機矽基覆蓋之圖案化表面之研究 = = A Study on the Preparation of a Gas Barrier Coated on Patterned Surface Coveraged by Organosilicon Film Using Consecutive Deposition-Etching Process /
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氣體阻障層製備於具有連續沉積-蝕刻有機矽基覆蓋之圖案化表面之研究 =
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A Study on the Preparation of a Gas Barrier Coated on Patterned Surface Coveraged by Organosilicon Film Using Consecutive Deposition-Etching Process.
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雲林縣 :
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30公分.
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指導教授:劉代山.
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碩士論文--國立虎尾科技大學光電工程系光電與材料科技碩士班.
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含參考書目.
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有機矽基薄膜.
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無機氮氧化矽.
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電漿增強化學氣相沉積.
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水氣滲透率.
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頂切圖案化.
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電漿蝕刻.
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圖書館B1F 博碩士論文專區
圖書館B1F 可外借論文區
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T007928
圖書館B1F 博碩士論文專區
不流通(NON_CIR)
碩士論文(TM)
TM 008.166M 7523:2 105
一般使用(Normal)
在架
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T007929
圖書館B1F 可外借論文區
不流通(NON_CIR)
一般圖書
008.166M 7523:2 105 c.2
一般使用(Normal)
在架
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2 筆 • 頁數 1 •
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