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半導體真空閘閥機構設計之研究 = = Study of Vacuum S...

齊元任

半導體真空閘閥機構設計之研究 = = Study of Vacuum Slit Valve Mechanism in Semiconductor Equipment /

Record Type:	Language materials, printed : Monograph/item
Title/Author:	半導體真空閘閥機構設計之研究 =/ 齊元任.
Reminder of title:	Study of Vacuum Slit Valve Mechanism in Semiconductor Equipment /
remainder title:	Study of Vacuum Slit Valve Mechanism in Semiconductor Equipment.
Author:	齊元任
Published:	雲林縣 :國立虎尾科技大學 , : 民108.07.,
Description:	[9], 53 面 :圖, 表 ; : 30公分.;
Notes:	指導教授: 周榮源.
Subject:	ANSYS Workbench. -
Online resource:	電子資源

半導體真空閘閥機構設計之研究 = = Study of Vacuum Slit Valve Mechanism in Semiconductor Equipment /
齊元任

半導體真空閘閥機構設計之研究 =Study of Vacuum Slit Valve Mechanism in Semiconductor Equipment /Study of Vacuum Slit Valve Mechanism in Semiconductor Equipment.齊元任. - 初版. - 雲林縣 :國立虎尾科技大學 ,民108.07. - [9], 53 面 :圖, 表 ;30公分.

指導教授: 周榮源.

碩士論文--國立虎尾科技大學機械設計工程系碩士班.

含參考書目.

(平裝).Subjects--Topical Terms:

1219177
ANSYS Workbench.

半導體真空閘閥機構設計之研究 = = Study of Vacuum Slit Valve Mechanism in Semiconductor Equipment /
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