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UV處理N2O應用於分解半導體製程尾氣之探討 = = Discussio...

黃逵鈿

UV處理N2O應用於分解半導體製程尾氣之探討 = = Discussion on the Application of UV Treatment of N2O in Decomposing Semiconductor Process Exhaust Gas /

紀錄類型:	書目-語言資料,印刷品 : Monograph/item
正題名/作者:	UV處理N2O應用於分解半導體製程尾氣之探討 =/ 黃逵鈿.
其他題名:	Discussion on the Application of UV Treatment of N2O in Decomposing Semiconductor Process Exhaust Gas /
其他題名:	Discussion on the Application of UV Treatment of N2O in Decomposing Semiconductor Process Exhaust Gas.
作者:	黃逵鈿
出版者:	雲林縣 :國立虎尾科技大學 , : 民109.07.,
面頁冊數:	[8], 52面 :圖, 表 ; : 30公分.;
附註:	指導教授: 陳文瑞.
標題:	Nitrous Oxide. -
電子資源:	電子資源

UV處理N2O應用於分解半導體製程尾氣之探討 = = Discussion on the Application of UV Treatment of N2O in Decomposing Semiconductor Process Exhaust Gas /
黃逵鈿

UV處理N2O應用於分解半導體製程尾氣之探討 =Discussion on the Application of UV Treatment of N2O in Decomposing Semiconductor Process Exhaust Gas /Discussion on the Application of UV Treatment of N2O in Decomposing Semiconductor Process Exhaust Gas.黃逵鈿. - 初版. - 雲林縣 :國立虎尾科技大學 ,民109.07. - [8], 52面 :圖, 表 ;30公分.

指導教授: 陳文瑞.

碩士論文--國立虎尾科技大學光電工程系光電與材料科技碩士在職專班.

含參考書目.

(平裝).Subjects--Topical Terms:

1245056
Nitrous Oxide.

UV處理N2O應用於分解半導體製程尾氣之探討 = = Discussion on the Application of UV Treatment of N2O in Decomposing Semiconductor Process Exhaust Gas /
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500 $a 指導教授: 陳文瑞.
500 $a 學年度: 108.
502 $a 碩士論文--國立虎尾科技大學光電工程系光電與材料科技碩士在職專班.
504 $a 含參考書目.
563 $a (平裝).
650 # 4 $a Nitrous Oxide. $3 1245056
650 # 4 $a Greenhouse Effect. $3 1062029
650 # 4 $a 一氧化二氮. $3 1245055
650 # 7 $2 csh $a 溫室效應. $3 878557
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