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Atomic layer processing : = semiconductor dry etching technology /

紀錄類型:	書目-語言資料,印刷品 : Monograph/item
正題名/作者:	Atomic layer processing :/ Thorsten Lill.
其他題名:	semiconductor dry etching technology /
作者:	Lill, Thorsten.
出版者:	Weinheim :Wiley-VCH, : c2021.,
面頁冊數:	xiv, 284 p. :ill. ; : 25 cm.;
標題:	Semiconductors - Etching. -
ISBN:	3527346686 (pbk.)

Atomic layer processing : = semiconductor dry etching technology /
Lill, Thorsten.

Atomic layer processing :semiconductor dry etching technology /Thorsten Lill. - Weinheim :Wiley-VCH,c2021. - xiv, 284 p. :ill. ;25 cm.

Includes bibliographical references and index.

ISBN: 3527346686 (pbk.)

Nat. Bib. No.: GBC147770bnbSubjects--Topical Terms:

877240
Semiconductors
--Etching.

Dewey Class. No.: 621.38152

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館藏

1 筆 • 頁數 1 •
1

典藏地名稱

館藏流通類別

E048335

圖書館3F 書庫

一般圖書(BOOK)

一般圖書

621.38152 L729 2021

一般使用(Normal)

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