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蔡孟蒓
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三元合金靶沉積氮化鋁鈦硼及氮化鋁鈦矽硬質薄膜之機械性質與磨潤性能 = = Mechanical Property and Tribological Performance of AlTiBN and AlTiSiN Hard Coatings Using Ternary Alloy Targets /
by: 蔡孟蒓
(書目-語言資料,印刷品)
主題
AlTiBN.
AlTiSiN.
hard coating.
mechanical.
tribological.
機械性質.
硬質薄膜.
磨潤性質.
處理中
...
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