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三元合金靶沉積氮化鋁鈦硼及氮化鋁鈦矽硬質薄膜之機械性質與磨潤性能 = =...

蔡孟蒓

三元合金靶沉積氮化鋁鈦硼及氮化鋁鈦矽硬質薄膜之機械性質與磨潤性能 = = Mechanical Property and Tribological Performance of AlTiBN and AlTiSiN Hard Coatings Using Ternary Alloy Targets /

紀錄類型:	書目-語言資料,印刷品 : Monograph/item
正題名/作者:	三元合金靶沉積氮化鋁鈦硼及氮化鋁鈦矽硬質薄膜之機械性質與磨潤性能 =/ 蔡孟蒓.
其他題名:	Mechanical Property and Tribological Performance of AlTiBN and AlTiSiN Hard Coatings Using Ternary Alloy Targets /
其他題名:	Mechanical Property and Tribological Performance of AlTiBN and AlTiSiN Hard Coatings Using Ternary Alloy Targets.
作者:	蔡孟蒓
出版者:	雲林縣:國立虎尾科技大學, : 民107.08.,
面頁冊數:	[24], 179 面 :圖, 表 ; : 30公分.;
附註:	指導教授: 張銀祐.
標題:	tribological. -
電子資源:	電子資源

三元合金靶沉積氮化鋁鈦硼及氮化鋁鈦矽硬質薄膜之機械性質與磨潤性能 = = Mechanical Property and Tribological Performance of AlTiBN and AlTiSiN Hard Coatings Using Ternary Alloy Targets /
蔡孟蒓

三元合金靶沉積氮化鋁鈦硼及氮化鋁鈦矽硬質薄膜之機械性質與磨潤性能 =Mechanical Property and Tribological Performance of AlTiBN and AlTiSiN Hard Coatings Using Ternary Alloy Targets /Mechanical Property and Tribological Performance of AlTiBN and AlTiSiN Hard Coatings Using Ternary Alloy Targets.蔡孟蒓. - 初版. - 雲林縣:國立虎尾科技大學,民107.08. - [24], 179 面 :圖, 表 ;30公分.

指導教授: 張銀祐.

碩士論文--國立虎尾科技大學機械與電腦輔助工程系碩士班.

含參考書目.

(平裝).Subjects--Topical Terms:

1153501
tribological.

三元合金靶沉積氮化鋁鈦硼及氮化鋁鈦矽硬質薄膜之機械性質與磨潤性能 = = Mechanical Property and Tribological Performance of AlTiBN and AlTiSiN Hard Coatings Using Ternary Alloy Targets /
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