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齊元任

概要

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書目資訊

半導體真空閘閥機構設計之研究 = = Study of Vacuum Slit Valve Mechanism in Semiconductor Equipment / by: 齊元任 (書目-語言資料,印刷品)

主題

ANSYS Workbench. ANSYSWorkbench. Natural frequency. Slit valve. Stress analysis. Vacuum valve. 應力分析. 真空傳輸閘板閥. 真空閥件. 自然頻率.

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