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半導體真空閘閥機構設計之研究 = = Study of Vacuum S...

齊元任

半導體真空閘閥機構設計之研究 = = Study of Vacuum Slit Valve Mechanism in Semiconductor Equipment /

紀錄類型:	書目-語言資料,印刷品 : Monograph/item
正題名/作者:	半導體真空閘閥機構設計之研究 =/ 齊元任.
其他題名:	Study of Vacuum Slit Valve Mechanism in Semiconductor Equipment /
其他題名:	Study of Vacuum Slit Valve Mechanism in Semiconductor Equipment.
作者:	齊元任
出版者:	雲林縣 :國立虎尾科技大學 , : 民108.07.,
面頁冊數:	[9], 53 面 :圖, 表 ; : 30公分.;
附註:	指導教授: 周榮源.
標題:	ANSYS Workbench. -
電子資源:	電子資源

半導體真空閘閥機構設計之研究 = = Study of Vacuum Slit Valve Mechanism in Semiconductor Equipment /
齊元任

半導體真空閘閥機構設計之研究 =Study of Vacuum Slit Valve Mechanism in Semiconductor Equipment /Study of Vacuum Slit Valve Mechanism in Semiconductor Equipment.齊元任. - 初版. - 雲林縣 :國立虎尾科技大學 ,民108.07. - [9], 53 面 :圖, 表 ;30公分.

指導教授: 周榮源.

碩士論文--國立虎尾科技大學機械設計工程系碩士班.

含參考書目.

(平裝).Subjects--Topical Terms:

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ANSYS Workbench.

半導體真空閘閥機構設計之研究 = = Study of Vacuum Slit Valve Mechanism in Semiconductor Equipment /
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500 $a 指導教授: 周榮源.
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